Двухступенчатый регулятор давления Ultra-High Purity (UHP) с мембранами, соединёнными между собой – серии 735W и NPR735W Parker

Материал корпуса:	316L Stainless Steel
Материал уплотнительного элемента:	316L Stainless Steel (std), Hastelloy C-22
Материал диафрагмы:	316L Stainless Steel (std), Hastelloy C-22
Материал седла:	PCTFE (std), Vespel
Материал клапана (poppet):	316L Stainless Steel (std), Hastelloy C-22, Пружина: 316L Stainless Steel (std), Inconel
Материал сетки клапана:	Hastelloy C-22
Материал крышки:	Nickel Plated Brass
Материал гайки:	316L Stainless Steel
Материал ручки:	ABS
Разрушающее давление:	10,500 psig (724 barg)
Пробное давление:	5,250 psig (362 barg)
Расход:	Cv: 0.04
Внутренний утечка:	< 2 x 10-9 scc/sec He
Внешняя утечка:	< 2 x 10-10 scc/sec He
Объем:	10. 10 (без фитингов) cm3
Вес:	3.5 lb, 1.6 kg
Максимальное расчетное входное давление:	3,500 psig, 240 barg
Номинальное выходное давление:	1-30 psig (2 barg) 3-100 psig (7 barg) (735W) -25 in Hg to 30 psig (NPR735W)
Максимальная рабочая температура:	65 °C, 150 °F
Минимальная рабочая температура:	-40 °C, -40 °F

Подразделение Parker Veriflo, регуляторы 735W и NPR735W (субатмосферные) разработаны для систем распределения газа высокого давления, в частности для использования в операциях по производству полупроводников ультра-высокой чистоты. Серия подходит для работы как с инертными, так и с коррозионно-активными газами и оснащена двухступенчатой конструкцией с связанной диафрагмой, которая минимизирует влияние давления подачи; таким образом обеспечивая стабильное выходное давление независимо от колебаний входного давления.
Регуляторы серии 735W имеют уникальный уплотнительный элемент, который исключает наличие резьбы в увлажненной зоне, тем самым улучшая герметичность и снижая риск образования и захвата частиц. Регуляторы изготовлены в чистой комнате класса 100 из фирменной нержавеющей стали Veriflo Vericlean™ 316L с седлами из PCTFE или Vespel®. Эти материалы, в сочетании со стандартной полной внутренней электрополировкой и диафрагмой и клапаном из Hastelloy C-22®, обеспечивают регуляторам высокую коррозионную стойкость и чистоту при входных давлениях до 3,500 psig. Седло также имеет конструкцию с самоуцентрированием для повторяемого позитивного перекрытия, надежного уплотнения и точного регулирования давления. Оно защищено от загрязнения со стороны upstream-цилиндра интегрированной фильтрующей сеткой.
Серия 735W обеспечивает перекрытие коррозионных или опасных газов в случае утечки через седло, что повышает безопасность, устраняя возможность накопления высокого давления в нижестоящей части. Внутренняя (седельная) герметизация и внешняя металлическая герметизация регуляторов проходят испытание на утечку гелием inboard и across-seat с использованием масс-спектрометра для обеспечения работоспособности и надежности в требовательных UHP-приложениях, где критична чистота.
Рынки:
• Semiconductor
• Analytical Laboratory
• Pharmaceutical
• BioPharm
• Aerospace
• Industrial
Особенности и преимущества:
• Уникальный уплотнительный элемент нагружает уплотнение к корпусу без необходимости резьбового сопла
• Большой ресурс циклов (включая коррозионные среды)
• Внутри отсутствует пружина, что минимизирует образование частиц и захват газов
• Металлическое уплотнение диафрагмы с корпусом обеспечивает высокую герметичность
• Внутренний уровень утечки: <2 x 10-9 scc/sec He (rated)
• Внешний уровень утечки: <2 x 10-10 scc/sec He
• Полностью работоспособен от вакуума до 3,500 psig (для контроля субатмосферного давления доступен NPR735W)
• Cv 0.04
• Стандартная полная внутренняя электрополировка
Применения:
• Коррозионные и специализированные газы
• Оборудование для полупроводников
• Подключения инструментов
• Газовые шкафы
• Коробки распределительных клапанов (VMB)
• Входящие технологические линии

Vespel® является зарегистрированной торговой маркой DuPont Performance Elastomers L.L.C.
Hastelloy C-22® является зарегистрированной торговой маркой Haynes International, Inc.
VeriClean™ является торговой маркой Parker Hannifin Corporation