Двухступенчатый регулятор давления с привязанной диафрагмой Ultra-High Purity (UHP) – серии 735W и NPR735W Parker

Материал корпуса:	316L Stainless Steel
Материал прижимающего элемента:	316L Stainless Steel (std), Hastelloy C-22
Материал диафрагмы:	316L Stainless Steel (std), Hastelloy C-22
Материал седла:	PCTFE (std), Vespel
Материал клапана (poppet):	316L Stainless Steel (std), Hastelloy C-22, Пружина: 316L Stainless Steel (std), Inconel
Материал сетки клапана:	Hastelloy C-22
Материал крышки:	Nickel Plated Brass
Материал гайки:	316L Stainless Steel
Материал ручки:	ABS
Давление разрыва:	10,500 psig (724 barg)
Пробное давление:	5,250 psig (362 barg)
Пропускная способность:	Cv: 0.04
Внутренний уровень утечки:	< 2 x 10-9 scc/sec He
Внешний уровень утечки:	< 2 x 10-10 scc/sec He
Объем:	10. 10 (без фитингов) cm3
Вес:	3.5 lb, 1.6 kg
Максимальное допустимое входное давление:	3,500 psig, 240 barg
Диапазон выходного давления:	1-30 psig (2 barg) 3-100 psig (7 barg) (735W) -25 in Hg to 30 psig (NPR735W)
Максимальная рабочая температура:	65 °C, 150 °F
Минимальная рабочая температура:	-40 °C, -40 °F

Подразделение Parker Veriflo выпускает 735W и NPR735W (субатмосферные), разработанные для высоконапорных систем распределения газа, особенно используемых в операциях по производству полупроводников с ультравысокой чистотой. Серия подходит для работы как с инертными, так и с коррозионно-активными газами и обладает двухступенчатой связанной диафрагменной конструкцией, которая минимизирует влияние давления питания; таким образом обеспечивая стабильное выходное давление независимо от колебаний входного давления.
Регуляторы серии 735W имеют уникальный прижимающий элемент, который исключает резьбу в омываемой зоне, тем самым улучшая герметичность и снижая риск генерации и захвата частиц. Регуляторы изготовлены в чистой комнате Class 100 из фирменной нержавеющей стали Vericlean™ 316L с седлами из PCTFE или Vespel®. Эти материалы в сочетании со стандартной полной внутренней электро- полировкой и диафрагмой и клапаном из Hastelloy C-22® обеспечивают регуляторам высокую коррозионную стойкость и чистоту при входном давлении до 3,500 psig. Седло также имеет самоцентрирующуюся конструкцию для повторяемого плотного закрытия, надежного уплотнения и точной регулировки давления. Оно защищено от загрязнения со стороны баллона встроенной фильтрующей сеткой.
Серия 735W обеспечивает перекрытие коррозионных или опасных газов в случае протечки через седло, что повышает безопасность, устраняя возможность накопления высокого давления ниже по потоку. Внутренное (седельное) уплотнение и внешний металлический уплотнитель регуляторов располагаются внутри и проверяются на утечку гелием через седло с помощью масс-спектрометра для обеспечения работоспособности и надежности в требовательных UHP-приложениях, где чистота критична.
Рынки:
• Semiconductor
• Analytical Laboratory
• Pharmaceutical
• BioPharm
• Aerospace
• Industrial
Особенности и преимущества:
• Уникальный прижимающий элемент нагружает уплотнение к корпусу без необходимости резьбового сопла
• Высокий ресурс циклов (включая коррозионное обслуживание)
• Внутренняя конструкция без пружины минимизирует генерацию частиц и захват газа
• Металлическое уплотнение диафрагмы с корпусом обеспечивает высокую герметичность
• Внутренний уровень утечки: <2 x 10-9 scc/sec He (рейтинг)
• Внешний уровень утечки: <2 x 10-10 scc/sec He
• Полностью функциональны от вакуума до 3,500 psig (для субатмосферного контроля давления доступен NPR735W)
• Cv 0.04
• Стандартная полная внутренняя электрополировка
Применения:
• Коррозионные и специальные газы
• Оборудование для полупроводников
• Подключения оборудования
• Газовые шкафы
• Клапанные коллекторы (VMB)
• Входные технологические линии

Vespel® является зарегистрированной торговой маркой DuPont Performance Elastomers L.L.C.
Hastelloy C-22® является зарегистрированной торговой маркой Haynes International, Inc.
VeriClean™ является торговой маркой Parker Hannifin Corporation