Сверхвысокой чистоты (UHP) регулятор давления с поверхностным монтажом и связанной мембраной — серия SMSQ2Micro Parker

Серии SMSQ2Micro и SMSQ2Micro130E являются самыми передовыми миниатюрными UHP-регуляторами давления на рынке. Серии обеспечивают чрезвычайно точный и надежный контроль давления, что улучшает работу MFC (Mass Flow Controller) — критически важно для воспроизводимости и выхода продукции в полупроводниковом производстве. Серии также обеспечивают превосходную герметичность и низкую генерацию частиц, что необходимо для полупроводниковых приложений.

Регуляторы подходят для использования как с инертными, так и с коррозионными газами и обеспечивают высокую скорость отклика на ступенчатые изменения расхода. Серия использует уникальную конструкцию с соединенной центрующейся мембраной (tied-diaphragm), которая обеспечивает надежное уплотнение седла и регулирование давления. Генерация и захват частиц минимизированы за счет устранения пружины клапана (poppet spring) и резьб удержания седла, что дополнительно улучшает чистоту процесса и эффективность продувки.

Смачиваемые компоненты серии SMSQ2Micro изготовлены из специальных металлов для обеспечения исключительной коррозионной стойкости, герметичности и максимального ресурса при входном давлении до 250 psig. Корпус внутренне электрополирован и изготовлен из фирменной стали Parker Veriflo — Vericlean™ 316L, которая превосходит требования Semi F20 к материалам; каждая мембрана и клапан (poppet) изготовлены из Hastelloy C-22®, а каждое седло доступно из PCTFE или Vespel®.

Как SMSQ2Micro, так и SMSQ2Micro130E имеют малую монтажную площадь в соответствии с SEMI Modular Interface Specifications и доступны в конфигурациях c-seal и w-seal.

Все регуляторы SMSQ2Micro и SMSQ2Micro130E очищены в соответствии со строгими требованиями полупроводниковой отрасли и собраны в чистых помещениях класса 100. Перед отгрузкой внутренние (седельные) уплотнения и внешние металлические уплотнения на 100% проверяются на утечку гелия с помощью масс-спектрометра для обеспечения работоспособности и надежности в требовательных UHP-приложениях.

Рынки:
• Semiconductor
• Analytical Laboratory
• Pharmaceutical
• BioPharm
• Aerospace
• Industrial

Применения:
• Коррозионные и специальные газы
• Semiconductor Tools
• Tool Hook-ups
• Gas Cabinets
• Valve Manifold Boxes (VMB)

Особенности и преимущества:
• Доступны в вариантах C и W seal, surface mount, размеры корпуса 1-1/8" и 1-1/2"
• Чрезвычайно низкая генерация частиц
• Tied-diaphragm исключает пружины в смачиваемой области и повышает безопасность
• Пропускная способность (Cv): 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)
• Диапазон выходного давления: -10 psig до 60 psig
• Внутренняя скорость утечки: ≤ 5 x 10-8 scc/sec He
• Внешняя скорость утечки: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• Электрополированная поверхность 5 microinch (Ra)
• Рабочий температурный диапазон: -40°F до +150°F (-40°C до +66°C)

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division
Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.