- Производитель:
- Hamamatsu
Система измерения толщины Optical NanoGauge C15151-01 — это бесконтактная система измерения толщины пленки, использующая спектральную интерферометрию. Высокомощный, высокостабильный источник белого света позволяет точно измерять толщину пленок, даже сверхтонких. Также ресурс источника света составляет 10 000 часов, что делает его подходящим для работы в линии.
| Номер продукта | C15151-01 |
|---|---|
| Диапазон измерения толщины пленки | стекло*1 : 1 нм до 20 мкм кремний*2 : 0.43 нм*3 до 8.6 мкм |
| Воспроизводимость измерений | стекло*4*5 : 0.1 нм кремний*6 : 1 нм |
| Точность измерений*5 *7 *8 | ±0.4 ? |
| Источник света | Высокомощный источник белого света |
| Диапазон длин волн измерения | 200 нм до 790 нм |
| Размер пятна*5 | Прибл. ?1 мм |
| Рабочее расстояние *5 | От 10 мм |
| Количество измеряемых слоев | Макс. 10 слоев |
| Анализ | Анализ Фурье, анализ подгонки, анализ оптических констант |
| Кратчайшее время такта | < 2 мс/точка |
| Интерфейс внешней связи | RS-232C, Ethernet |
| Выходной сигнал | Аналоговый выход : 0 В до 10 В / Высокое сопротивление 3-канальный (Макс. 3 слоя) Выход тревоги : TTL/Высокое сопротивление 1-канальный Выход предупреждения : TTL/Высокое сопротивление 1-канальный |
| Входной сигнал | Сигнал начала измерения : TTL/Высокое сопротивление 1-канальный |
| Напряжение питания | AC100 В до AC240 В, 50 Гц/60 Гц |
| Потребляемая мощность | Прибл. 130 ВА |
| Форма разъема световода | FC |
*1 При пересчете с показателем преломления стекла = 1.5.
*2 При пересчете с показателем преломления кремния = 3.67.
*3 Это расчетное значение, пересчитанное на показатель преломления кремния (3.67).
*4 Стандартное отклонение (допуск) при измерении стеклянной пленки толщиной 2 нм.
*5 В зависимости от оптической системы или увеличения объектива, который будет использоваться.
*6 Стандартное отклонение (допуск) при измерении эталона толщиной 30 мкм.
*7 Диапазон гарантии измерений, как указано в документе гарантии измерений VLSI Standards.
*8 При измерении кремния.
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.