Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Высокое разрешение тонкопленочной рентгеновской флуоресценции для сред RND и производства
Rigaku TFXRD Near-Fab обеспечивает лабораторную точность рентгеновской дифракции непосредственно на производственные линии полупроводников. Разработанная для пластин до 300 мм, эта система позволяет быстро и неразрушающе анализировать эпитаксиальные слои, тонкие пленки и многослойные структуры с помощью автоматизированной обработки пластин и работы на основе рецептов. Ее совместимый с чистыми помещениями дизайн и высокая производительность делают ее идеальной для квалификации процессов, обнаружения дефектов и оптимизации выхода в производстве современных силовых, RF, MEMS и логических устройств.
Доступные модели:?
- TFXRD Near-Fab 200: Поддерживает пластины до 200 мм?
- TFXRD Near-Fab 300: Поддерживает пластины до 300 мм
Обзор TFXRD Near Fab
TFXRD Near-Fab — это универсальная система рентгеновской дифракции тонких пленок от Rigaku, разработанная для обеспечения высокоточного структурного анализа непосредственно в производственных средах. Разработанная для использования рядом с линиями производства полупроводников, она позволяет быстро и неразрушающе оценивать эпитаксиальные слои, многослойные пленки и гетероструктуры на пластинах до 300 мм.?
С компактным, совместимым с чистыми помещениями дизайном, автоматизированной обработкой пластин и работой на основе рецептов, TFXRD Near-Fab упрощает переход от исследований и разработок (R&D) к пилотному и массовому производству. Она обеспечивает точные измерения деформации решетки, качества кристалла, толщины слоя, состава и ориентации для поддержки квалификации процессов, раннего обнаружения дефектов и оптимизации выхода.?
Объединяя лабораторную точность с производительностью на уровне фабрики, TFXRD-300 обеспечивает надежный мониторинг и контроль современных процессов тонкопленочного производства для силовых, RF, MEMS и логических устройств.?
Предпроизводственные и пилотные линии (TFXRD Near-Fab)?
- Передача рецептов из лабораторных в производственные среды?
- Квалификация процессов для новых архитектур устройств?
- Полуавтоматизированная характеристика пластин для поддержки пилотных запусков?
- Оценка плотности дефектов и однородности слоев перед масштабированием?
- Мониторинг на ранних стадиях высоко-k/металлических затворов и современных диэлектриков?
Особенности TFXRD Near Fab
Технические характеристики TFXRD Near Fab
| Техника | Высокоточная рентгеновская дифракция тонких пленок (HR-XRD) | |
|---|---|---|
| Цель | Неразрушающий структурный анализ эпитаксиальных слоев, тонких пленок и многослойных структур | |
| Технология | Высокоточный ?-2? гониометр с автоматизированным выравниванием пластин и работой на основе рецептов | |
| Ключевые компоненты | Высокояркий источник рентгеновского излучения; прецизионные XRD оптики; высокоразрешающий 2D детектор; ограждение, готовое к чистым помещениям | |
| Опции | Автоматизированный загрузчик пластин, система очистки окружающей среды, интегрированная коррекция кривизны, программное обеспечение, соответствующее стандарту SEMI | |
| Перенос пластин / Обработка образцов | Автоматизированная обработка пластин (поддерживает пластины 200 мм и 300 мм) | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
