Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Картирование загрязнений металлами на высокой скорости для пластин до 300 мм
Измерение следовых загрязнений поверхности элементами
Анализ тотального отражения рентгеновского флуоресценции (TXRF) может оценивать загрязнения во всех процессах фабрики, включая очистку, литографию, травление, обжиг, пленки и т.д. TXRF 310Fab может измерять элементы от Na до U с помощью системы с одной мишенью и тремя лучами и системы детекторов без жидкого азота.
Обзор TXRF 310Fab
TXRF 310Fab включает запатентованную систему образцов XY? от Rigaku, систему вакуумной роботизированной передачи пластин и новое удобное программное обеспечение для Windows. Эти функции способствуют повышению производительности, точности и легкости рутинной эксплуатации.
Опциональное программное обеспечение Sweeping TXRF позволяет картировать распределение загрязнителей по поверхности пластины для выявления "горячих точек", которые могут быть автоматически переизмерены с большей точностью.
Предел обнаружения типичных элементов (LLD)
| Предел обнаружения LLD (E10 атомов/см?) | Na | Al | Fe | Ni | Cu |
| 25 | 25 | 0.1 | 0.1 | 0.15 |
Опции
- Возможность ZEE-TXRF преодолевает историческое исключение края в 15 мм в оригинальных конструкциях TXRF, позволяя проводить измерения без исключения края.
- Возможность BAC-TXRF позволяет полностью автоматизированные измерения TXRF с передней и задней стороны 300 мм пластин без контакта с переворачиванием пластины.
Особенности TXRF 310Fab
Технические характеристики TXRF 310Fab
| Техника | Тотальное отражение рентгеновского флуоресценции (TXRF) | |
|---|---|---|
| Преимущество | Быстрое, неразрушающее измерение следовых загрязнений поверхности элементами (Na – U) | |
| Технология | Система TXRF с тремя лучами с электронно охлаждаемым детектором и автоматической заменой оптики | |
| Атрибуты | Конфигурация с тремя детекторами Источник рентгеновского излучения с анодом из вольфрама высокой мощности (вращающийся анод 9 кВт) Три энергии возбуждения, оптимизированные для легких, переходных и тяжелых элементов Стадия образцов XY? Двойные порты загрузки FOUP |
|
| Особенности | Полное картирование пластины (SWEEPING-TXRF) Нулевое исключение края (ZEE-TXRF) |
|
| Опции | Конфигурации FOUP, SMIF и через стену Анализ задней стороны (BAC-TXRF) Программное обеспечение GEM300, поддержка E84/OHT |
|
| Размеры | 1200 (Ш) x 2050(В) x 2546 (Г) мм | |
| Результаты измерений | Количественный результат, спектральная диаграмма, цветная контурная карта, таблица картирования | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
