Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Инструмент метрологии XRR и EDXRF для сплошных пластин
Толщина, плотность, шероховатость и состав пленок на сплошных пластинах
Встроенное производство полупроводников в больших объемах
Этот универсальный инструмент рентгеновской метрологии использует рентгеновскую флуоресценцию (EDXRF) и рентгеновскую рефлектометрию (XRR) для высокопроизводительного неразрушающего измерения толщины и плотности сплошных пластин, начиная от ультратонких однослойных пленок до многослойных стеков для разработки процессов и контроля качества пленок.
Обзор XHEMIS EX-2000
Разработан для массового производства
XHEMIS EX-2000 разработан для массового производства пластин до 200 мм. Исключительное выравнивание стола перед измерением позволяет быстро и точно измерять различные образцы пластин. Высокоточное управление столом позволяет проводить измерения по всей поверхности за короткое время.
Инструмент с удобным интерфейсом
При оснащении транспортным роботом XHEMIS EX-2000 может автоматически обрабатывать пластины. AutoCal (функция автоматической калибровки) поддерживает постоянные условия работы инструмента. Удобное программное обеспечение облегчает работу с инструментом и анализ данных. Этот инструмент может использоваться для различных приложений от исследований до производства для контроля качества.
Примеры применения
Барьерный металл, провод Al/W, процесс W, задний электрод, оксидные/нитридные пленки, светодиоды, фильтры, силовые устройства, МЭМС
Особенности XHEMIS EX-2000
Технические характеристики XHEMIS EX-2000
| Техника | Рентгеновская рефлектометрия (XRR), энергодисперсионная рентгеновская флуоресценция (EDXRF) | |
|---|---|---|
| Преимущество | Измерение ультратонких однослойных пленок до многослойных стеков. Получение толщины пленки, плотности и шероховатости с помощью XRR (без стандартов) Получение толщины/состава с помощью XRF (со стандартами) |
|
| Технология | XRR и малоспотовый XRF | |
| Атрибуты | Метрология сплошных пластин Источник с медной запаянной трубкой для XRR; источник с хромовой запаянной трубкой для XRF Размер пятна EDXRF ~ 2 мм в диаметре |
|
| Особенности | XY? стол образцов Автозагрузчик |
|
| Опции | Источник с палладиевой запаянной трубкой для XRF (оптимально для Al) Программное обеспечение SECS/GEM |
|
| Размеры | 1250 (Ш) x 1825 (В) x 2400 (Г) мм (с автозагрузчиком) | |
| Результаты измерений | EDXRF: Толщина пленки и состав XRR: Толщина пленки, плотность и шероховатость |
|
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
