- Производитель:
- Rigaku
Встроенный двухголовочный микро-спот XRF
Неразрушающий контроль и метрология пластин
Двойной источник рентгеновского излучения (поликапиллярный / монохроматический)
Для пластин до 300 мм.
Обзор ONYX 3200
ONYX 3200 — это самое передовое гибридное метрологическое решение на рынке; с его двойной головкой, инструмент второго поколения сочетает в себе передовые ?XRF и оптические техники для обеспечения высокой точности в обнаружении дефектов и самой высокой производительности для встроенного производства полупроводников.
Системы серии ONYX разработаны для обеспечения целостного подхода к метрологии на всех этапах производственного процесса от FEOL до WLP, включая оптимальную конфигурацию для передовой упаковки и приложений с одиночными бугорками для мониторинга соотношения Ag/Sn — доказанные результаты в измерении и идентификации одиночных паяльных ?-бугорков диаметром менее 5?m.
Оптимизированная возможность источника
- Измерения одиночных ?-бугорков для мониторинга процесса
- Высокая производительность и улучшенная пропускная способность
- Точный анализ толщины и состава металла
- Максимальная чувствительность для толщины и состава слоев
2D микроскоп |
Увеличение 2D микроскопа |
3D сканер |
Особенности ONYX 3200
Технические характеристики ONYX 3200
| Тип метрологии | Двухголовочный микро-спот EDXRF и оптический контроль (2D-3D) | |
|---|---|---|
| Размер пластины | До 300 мм | |
| Тип пластины | Пластины без рисунка и с рисунком | |
| Навигация | Точная платформа, дополненная алгоритмом распознавания изображений Субмикронная быстрая навигация к центру одиночной функции |
|
| Ориентация микро XRF луча | Вертикальное падение микро-спота (µXRF) | |
| Оптика | "Полихроматическая" (рентгеновская оптика) и COLORS "Монохроматическая" (рентгеновская оптика) | |
| Размер пятна микро XRF луча | Регулируемые размеры пятна 10-50 µm | |
| Тип детектора | Кремниевый дрейфовый детектор (SDD): 3 конфигурации 1. Обычный > Al 2. Легкие элементы: C, N, O, F, S 3. Тяжелые элементы: > Ge (оптимизировано для Ag, Sn) |
|
| DPP | Цифровой процессор импульсов | Высокая эффективность более 1 миллиона фотонов/сек. | |
| Точность X/Y платформы | 0.1 µm | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
