Спктрометр AZX 400 Rigaku

Последовательный дисперсионный по длине волны рентгенофлуоресцентный спектрометр для больших образцов

Последовательный дисперсионный по длине волны рентгенофлуоресцентный спектрометр предлагает аналитическую гибкость

Измерения толщины пленки и состава на пластинах, дисках, купонах, мишенях для распыления. Уникальный последовательный дисперсионный по длине волны рентгенофлуоресцентный (WDXRF) спектрометр Rigaku AZX 400 может измерять большинство элементов в периодической таблице (от Be до U), что делает его идеальным инструментом для оценки тонких пленок для исследований и разработок процессов или в условиях низкого объема и высокого разнообразия продукции. Уникальная способность AZX 400 принимать образцы диаметром до 400 мм, толщиной 50 мм и массой 30 кг также позволяет проводить анализ состава мишеней для распыления, что является ключевой возможностью измерения для процессов, требующих строгого контроля состава.

XRF с системой адаптера для образцов

Имея возможность адаптироваться к вашим конкретным типам образцов и аналитическим потребностям, этот WDXRF спектрометр может адаптироваться к различным размерам и формам образцов с использованием опциональных (изготовленных на заказ) вставок адаптеров. С переменной зоной измерения (диаметром от 30 мм до 0,5 мм, с автоматическим выбором в 5 шагов) и возможностью картирования с многоточечными измерениями для проверки однородности образца, этот уникально гибкий инструмент может значительно упростить ваши процессы контроля качества.

XRF с доступной камерой и специальным освещением

Опциональная камера в реальном времени позволяет просматривать область анализа в программном обеспечении. Оператор имеет полную уверенность в том, что измеряется.

Традиционные аналитические возможности WDXRF

Все аналитические возможности традиционного инструмента сохранены в этом варианте для "больших образцов". Анализируйте бериллий (Be) через уран (U) с высоким разрешением и высокой точностью WDXRF спектроскопии, от твердых тел до жидкостей и порошков до тонких пленок. Анализируйте широкие диапазоны состава (ppm до десятков процентов) и толщины (от суб ? до мм). Опционально доступно отклонение пиков дифракции для оптимальных результатов для монокристаллических подложек. Рентгенофлуоресцентный спектрометр Rigaku AZX 400 соответствует отраслевым стандартам SEMI и CE.

Применения AZX 400

• Состав мишеней для распыления
• Изоляционные пленки: SiO?, BPSG, PSG, AsSG, Si?N?, SiOF, SiON и др.
• Высокок и ферродиэлектрические пленки: PZT, BST, SBT, Ta?O?, HfSiOx
• Металлические пленки: Al-Cu-Si, W, TiW, Co, TiN, TaN, Ta-Al, Ir, Pt, Ru, Au, Ni и др.
• Электродные пленки: легированный поли-Si (легирующий элемент: B, N, O, P, As), аморфный-Si, WSix, Pt и др.
• Другие легированные пленки (As, P), захваченный инертный газ (Ne, Ar, Kr и др.), C (DLC)
• Ферроэлектрические тонкие пленки, FRAM, MRAM, GMR, TMR; PCM, GST, GeTe
• Состав паяных шариков: SnAg, SnAgCuNi
• MEMS: толщина и состав ZnO, AlN, PZT
• Процесс устройства SAW: толщина и состав AlN, ZnO, ZnS, SiO? (пьезопленка); Al, AlCu, AlSc, AlTi (электродная пленка)

Аксессуары AZX 400

• Камера для образцов со специальным освещением позволяет просматривать точку анализа на экране
• Отклонение дифракционных помех обеспечивает точные результаты для монокристаллических подложек
• Программное обеспечение Fundamental Parameters для анализа тонких пленок