Обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой. Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, тестирование проводимости керамических подложек, контролируемый рост наноструктур ZnO и эксперименты по спеканию в атмосфере MLCC.
Обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой.
Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, тестирование проводимости керамических подложек, контролируемый рост наноструктур ZnO и эксперименты по спеканию в атмосфере MLCC.
ОСОБЕННОСТИ
1. Печь изготовлена из поликристаллического волокна муллита с вакуумной адсорбцией, температурное поле равномерное, а энергосбережение более 50%
2. Технология отвода воздуха и теплоизоляции обеспечивает срок службы и эффект постоянной температуры каждого компонента в коробке
3. Запустите электрическую печь, и вытяжной вентилятор будет работать автоматически одновременно. После теста вытяжной вентилятор продолжит работать, пока температура корпуса печи не станет ниже 60 °C, и вытяжной вентилятор автоматически остановится, что эффективно защищает поверхность корпуса печи.
4. Автоматическое отключение питания, функция защиты от перегрева, функция защиты от утечек для обеспечения безопасности использования
5. Цепь использует режим непрерывного нагрева, двухконтурное питание, а раздельная проводка сильного и слабого тока улучшает стабильность системы
6. Модуль нагрева использует сигнал постоянного тока для регулировки выходной мощности, что избегает помех индуцированного электричества на управляющий сигнал.
7. Автоматическая компенсация эффекта контроля температуры, вызванного изменением сопротивления стержня карбида кремния из-за температуры или старения, избегая неточности и опасности ручной регулировки
8. Используйте цифровой прибор отображения потока, сотрудничайте с контроллером массового потока, собирайте данные и контролируйте поток. Он обладает характеристиками хорошей повторяемости, высокой скорости отклика, стабильности и надежности. (Система контроля массового потока газа)
9. Функция переключения автоматического и ручного управления, режим автоматического управления может автоматически включать/выключать вакуумный насос через установленное значение, чтобы поддерживать контейнер в определенном диапазоне вакуумного давления. Режим ручного управления позволяет пользователю напрямую управлять вакуумным насосом через кнопку включения/выключения вакуумного насоса, чтобы удовлетворить потребности различных экспериментов. (Система контроля среднего вакуума)
10. Технология медленного запуска электромагнитного клапана, чтобы электромагнитный клапан открывался через 10 секунд после включения вакуумного насоса, чтобы давление в системе в трубке печи оставалось точным, а также чтобы выхлопные газы не возвращались в систему трубки печи, влияя на экспериментальный эффект (система контроля среднего вакуума)
СПЕЦИФИКАЦИИ
Модель | CVD-LTF14P40 | CVD-LTF14P50 | CVD-LTF14P60 | CVD-LTF14P80 |
CVD-LTF14T40 | CVD-LTF14T50 | CVD-LTF14T60 | CVD-LTF14T80 | |
Диапазон рабочей температуры | 300~1400? | |||
Разрешение температуры | 1? | |||
Контроль температуры | ± 1? | |||
Скорость нагрева | 0~20?/мин | |||
Длина зоны нагрева | 200мм | 400мм | ||
Длина зоны постоянной температуры | 70мм | 140мм | ||
Степень вакуума | -0.1MPa | |||
Время нагрева пустой печи | ?15мин | |||
Скорость нагрева при конфигурации трубки печи | Ниже 500? ?5?/мин?500-1000?10?/мин?1000-1200?5?/мин?1000-1400?2?/мин | |||
Экстерьер | Лист холоднокатаной стали с химически стойким покрытием на поверхности | |||
Корпус печи | Поликристаллическое волокно муллита | |||
Размер печи | 360*350*350мм | 560*350*350мм | ||
Трубка печи | Корундовая трубка | |||
Размер трубки печи | ?40/34*1000 | ?50/44*1000 | ?60/50*1000 | ?80/70*1000 |
Нагреватель | Стержень карбида кремния | |||
Мощность нагрева | 3KW | 5KW | ||
Теплоизоляционный слой | Двухслойный принудительный отвод воздуха | |||
Способ открытия | Нет | |||
Контроллер | P: Импортированный программный цифровой дисплей контроля температуры; T: 7-дюймовый цветной сенсорный экран программного контроля температуры | |||
Метод управления | Использование микрокомпьютерного PID управления | |||
Как установить | P: Сенсорные пять кнопок для действия, установка цифрового дисплея; T: Сенсорное касание и нажатие для установки | |||
Метод отображения | P: Двухстрочный светодиодный цифровой дисплей; T: Цветной ЖК-дисплей | |||
Тайминг | 0~999.9 часов | |||
Функция выполнения | Операция с фиксированным значением, программная операция | |||
Режим программы | P: Программное выполнение, 4 кривые, всего 40 шагов; T: 50 шагов могут вызывать сохраненную программу | |||
Датчик | Термопара типа S | |||
Вспомогательная функция | P: Функция коррекции; T: Функция коррекции, запись кривой в реальном времени, экспорт данных на USB-накопитель | |||
Оборудование безопасности | Выключатель защиты от утечки тока | |||
Количество воздушных путей | 3 канала (количество воздушных каналов можно выбрать в зависимости от конкретных потребностей) | |||
Диапазон потока | 0-0500sccm (стандарт мл/мин, по выбору) стандарт азота ±1%F.S | |||
Точность | ||||
Время отклика | ?4с | |||
Рабочая температура (расходомер) | 5-45? | |||
Рабочее давление | Давление на входе 0.05-0.3MPa (манометрическое давление) | |||
Системное соединение | Используйте быструю соединительную гофру KF, ручной клапан высокого вакуума и цифровой вакуумный измерительный прибор | |||
Диапазон вакуума системы | 10-100Па | |||
Вакуумный насос | Теоретическая предельная степень вакуума двухступенчатого механического насоса составляет 3x10-1Па, скорость откачки 4л/с, выход воздуха оснащен масляным фильтром, номинальное напряжение 200В, мощность 0.55Квт | |||
Конфигурация системы CVD | Вакуумная трубчатая печь на 1400 градусов Многоканальная система контроля массового потока Вакуумная система | |||
ПРИМЕНЕНИЕ
-
Наука о материалах и исследования -
Промышленность и производство -
Контроль качества и тестирование -
Лабораторные исследовательские учреждения
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
