Мишень для распыления из карбида кремния горячего прессования Goodfellow

Мишень для напыления из карбида кремния горячего прессования представляет собой плотную керамику высокой чистоты, разработанную для осаждения тонких пленок, которая ценится за свою исключительную твердость, термическую стабильность и стойкость к химическому воздействию. Его способность работать в высокоэнергетической плазменной среде делает его незаменимым в полупроводниковой, оптоэлектронной промышленности и производстве защитных покрытий. Конкретные области применения включают нанесение нанокомпозитных покрытий на основе SiC с высокой износостойкостью и низким коэффициентом трения для аэрокосмической и трибологической промышленности, выращивание тонких пленок для современных полупроводниковых и оптических компонентов, а также производство кристаллических пленок 3C-SiC посредством импульсного лазерного осаждения для мощных и высокочастотных электронных устройств. Исследования показывают, что специальное горячее прессование улучшает плотность, твердость и стойкость к окислению, одновременно повышая эффективность напыления. Патентные инновации также привели к появлению нестехиометрических мишеней из SiC, которые обеспечивают значительно более высокие скорости осаждения при производстве тонких пленок. Как в промышленном, так и в научном контексте мишень для распыления горячего прессования из карбида кремния является важнейшим материалом для тонкопленочных технологий нового поколения, объединяющим передовую электронику, оптику и защитные покрытия.

Оценка: Hot-Pressed
Формула: SiC
Форма: Мишень для распыления
Материал: карбид кремния.
Товар: Керамика

Диаметр	Толщина	Кат. номер
25 мм	3 мм	1000012813
50 мм	3 мм	1000095936
101,6 мм	3 мм	1000183159
75 мм	3 мм	1000183166
20 мм	1,5 мм	1000009580

Химическая стойкость
Кислоты - концентрированные     Хорошо
Кислоты - разбавленные     Хорошо
Щелочи     Good-Poor
Галогены     Good-Poor
Металлургическая ярмарка
Электрические свойства
Диэлектрическая проницаемость     40
Объемное сопротивление (Омсм)     10?-10?@25
Физические свойства
Кажущаяся пористость (%)     0
Плотность (гсм??)     3,15
Термические свойства
Точка плавления (C)    2650-2950
Верхняя температура непрерывного использования (C)    1500–1650
Удельная теплоемкость ( Дж K?? кг?? )     670-710 при 25°C
Теплопроводность ( Вт·м?? K?? )     90–160 при 20 °C
Коэффициент теплового расширения (x10?? K??)     4,5 при 20–1000°C
Механические свойства
Модуль упругости (ГПа)     200-500
Твердость по Виккерсу (кгс мм??)     2400-2800
Прочность на сдвиг (МПа)    210-380
Предел прочности на разрыв (МПа)     400
Пултрузии
Прочность на сжатие (МПа)     1000-1700