UHP регулятор давления высокого расхода — ручной или с купольной нагрузкой (Cv 4,5, входное давление 500 psig, до 1-1/2 дюйма) — серия BFR5K Parker

Материал корпуса:	VeriClean 316L Stainless Steel
Материал пилотного клапана (poppet):	VeriClean 316L Stainless Steel
Материал седла:	PCTFE
Материал уплотнений O-Ring:	Fluorcarbon (стандартно), Ethylene Propylene
Материал манжеты (bellows):	Inconel 718 (внутренняя), 321 Stainless Steel (внешняя)
Материал крышки:	Nickel Plated Brass
Пропускная способность:	Cv: 4.5
Внутренний утечка:	Bubble Tight
Внешний утечка:	< 1 x 10-9 scc/sec He (inboard Test Method)
Объем:	71 (без соединений) cm3
Вес:	5.7 (Dome Loaded), 7.7 (Manual) lb, 2.6 (Dome Loaded), 3.5 (Manual) kg
Максимальное допустимое давление на входе:	500 psig
Диапазон выходного давления:	0-60 psig, 0-100 psig, 0-150 psig, 0-200 psig (Manual) 0-200 psig (Dome Loaded)
Максимальная рабочая температура:	66 °C, 150 °F
Минимальная рабочая температура:	-40 °C, -40 °F

Parker Veriflo Division BFR5K Series — это регулятор давления из нержавеющей стали с уравновешенным пилотным клапаном и чувствительной манжетой (sensing bellows), идеально подходящий для применения в высокопроизводительных UHP полупроводниковых производственных системах, включая системы доставки массовых и специальных газов.
Уникальная запатентованная конструкция регулятора включает уравновешенный пилотный клапан, который минимизирует влияние давления подачи, обеспечивая стабильное выходное давление независимо от изменений входного (верхнего по потоку) давления. Конструкция sensing bellows снижает падение давления доставки при высоком расходе. Пилотный клапан также связан с sensing bellows, что повышает безопасность за счет улучшенного перекрытия и уменьшения риска накопления высокого давления вниз по потоку. Генерация и захват частиц минимизированы за счет устранения пружины пилотного клапана и резьбового крепления седла, что дополнительно улучшает чистоту процесса и эффективность продувки.
Омочаемые компоненты серии BFR5K изготовлены из специальных металлов для обеспечения исключительной коррозионной стойкости и герметичности. Корпус, пилотный клапан и комплектующие выполнены из Vericlean™ 316L stainless steel. Vericlean™ — это фирменная UHP марка нержавеющей стали Parker. Корпус внутренне электрополирован для дальнейшего повышения чистоты и коррозионной стойкости. Манжеты (bellows) изготовлены из Inconel® 718 и 321 stainless steel для обеспечения коррозионной стойкости и выдающегося ресурса циклов. Седло выполнено из PCTFE, а внутренние уплотнения доступны в FKM или EPDM для совместимости со многими газами массовой доставки. Эти материалы, в сочетании с уникальными конструктивными особенностями серии BFR5K, обеспечивают отличную коррозионную стойкость и максимальный срок службы при входном давлении до 500 psig.
Регулятор BFR5K может поставляться с различными типами соединений, включая 3/4 или 1 inch face seal, либо 3/4, 1 или 1-1/2 inch tube stub. Он способен работать при расходах от 100 до 5,000 standard liters per minute (slpm). Доступны конфигурации Manual и Dome-Loaded в зависимости от требований системы. Dome-loaded регуляторы могут управляться дистанционно.
Герметичность всех регуляторов серии BFRK проверяется производственными испытаниями. Внешние уплотнения проходят inboard Helium leak тестирование с использованием масс-спектрометра. Седло испытывается на bubble tight с давлением.
Рынки:
• Fluid & gas handling
• Process control
• Semiconductor
• Analytical Laboratory
• Pharmaceutical
• BioPharm
• Aerospace
• Industrial
Особенности/Преимущества:
• Обеспечивает чрезвычайно высокий расход в легком компактном корпусе
• Способен работать при расходах от 100 до 5,000 slpm
• Конструкция с уравновешенным пилотным клапаном снижает влияние давления подачи
• Может поставляться с различными типами соединений, включая 3/4 или 1 inch face seal, либо 3/4, 1 или 1-1/2 inch tube stub.
• Стандартная внутренняя полная электрополировка
• Максимальное входное давление: 500 psig
• Внутренняя пружинно- и резьбосвободная конструкция минимизирует генерацию частиц и захват газа
• Связанный пилотный клапан повышает безопасность
• Внутренний уровень утечки: bubble tight
• Внешний уровень утечки: <1 x 10-9 scc/sec He
Применения:
• Коррозионные и специальные газы
• Системы распределения газов
• Bulk Specialty Gas Systems (BSGS)

VeriClean™ является торговой маркой Parker Hannifin Corporation
Inconel® является зарегистрированной торговой маркой Special Metal Corporation