Ультравысокая чистота (UHP) высокопоточный, высоконапорный мембранный клапан – серия 18R Parker

Диафрагменный клапан Parker 18R Series типа со спиральной пружиной из нержавеющей стали обеспечивает длительный ресурс циклов и надежное перекрытие для систем поставки высокопоточных и специальных газов. Клапан может управляться вручную или пневматически и разработан для использования в производстве полупроводников с ультра-высокой чистотой, где критически важны герметичность и чистота.

Клапаны 18R Series изготовлены из специальных материалов для обеспечения исключительной коррозионной стойкости и герметичности. Корпус и нижний шток клапанов 18R Series произведены из фирменной низкосернистой стали VeriClean™ 316L Veriflo и подвергнуты внутреннему электрополировaнию. Диафрагма выполнена из высокопрочного сплава на кобальтовой основе. Материалы седла доступны в PCTFE (стандарт) или Polyimide, что позволяет использовать 18R Series со множеством рабочих сред, включая как агрессивные, так и инертные. В сочетании с точными конструктивными особенностями клапана, контролирующими напряжения седла и диафрагмы для обеспечения обслуживания без технического обслуживания, эти специализированные металлы обеспечивают 18R Series исключительную коррозионную стойкость и отличную надежность при рабочих давлениях до 1,500 psig для ручных конфигураций и до 1,200 psig для пневматических конфигураций.

Все клапаны 18R Series изготавливаются в чистой комнате класса Class 100. Внутренное (седельное) уплотнение и металлическое внешнее уплотнение проходят испытание на утечку гелием с использованием масс-спектрометра. Кроме того, они проходят производственный тест на утечку с использованием внешнего sniffer-зонда при 1,000 – 1,500 psig для обеспечения работы в условиях высокопоточных, высоко-давленияных UHP производств полупроводников.

Рынки:
• Semiconductor
• Analytical Laboratory
• Pharmaceutical
• BioPharm
• Aerospace
• Industrial

Применения:
• Bulk specialty gas systems (BSGS)
• Bulk delivery systems
• Tool Hook-ups
• Gas Cabinets
• Valve Manifold Boxes (VMB)

Особенности/Преимущества:
• Обеспечивает высокий поток и надежное перекрытие для UHP систем
• Электрополированная поверхность 10 microinch (Ra)
• Длительный ресурс циклов (включая работу с коррозионными средами)
• Полностью работоспособен от вакуума до 1,500 psig (ручной), 1,200 psig (пневматический)
• Внутренняя скорость утечки: < 4 x 10-9 scc/sec He
• Внешняя скорость утечки: < 1 x 10-9 scc/sec He
• Производственный тест на утечку с использованием внешнего sniffer-зонда при 1,000 – 1,500 psig
• Может быть ручным (1.30 Cv) или пневматическим (1.00 Cv)

VeriClean™ is a trademark of Parker Hannifin Corporation