Регулятор давления сверхвысокой чистоты (UHP) с привязанной диафрагмой — серия SQ2Micro Parker

SQ2Micro (0.06 Cv) и SQ2Micro130E (0.15 Cv) являются самыми передовыми миниатюрными UHP регуляторами давления на рынке. Серия обеспечивает исключительно точный и надежный контроль давления, что повышает производительность MFC (Mass Flow Controller), имеющую решающее значение для воспроизводимости и выхода при производстве полупроводников. Серия также демонстрирует превосходную герметичность и низкую генерацию частиц для снижения загрязнения процесса, что необходимо для полупроводниковых применений.
Регуляторы пригодны для использования как с инертными, так и с коррозионно-активными газами и обеспечивают выдающуюся реакцию на ступенчатые изменения расхода. Серия использует уникальную конструкцию с самоцентрирующейся связанной диафрагмой, обеспечивающую надежное уплотнение седла и регулирование давления. Генерация и захват частиц минимизируются за счет устранения пружины клапана и резьбы удержания седла, что дополнительно улучшает чистоту процесса и характеристики продувки.
Смачиваемые компоненты серии SQ2Micro изготовлены из специальных металлов для обеспечения исключительной коррозионной стойкости, герметичности и максимального ресурса при входном давлении до 250 psig. Корпус внутренне электрополирован и изготовлен из запатентованной Parker Veriflo™ стали VeriClean™ 316L, которая превосходит требования материала Semi F20; каждая диафрагма и клапан изготовлены из Hastelloy C-22®, а каждое седло доступно в исполнении из PCTFE или Vespel®.
Как SQ2Micro, так и SQ2Micro130E имеют маленький размер основания, соответствующий тому же шагу установки, что и клапаны Veriflo. Доступен корпус типа A с внутренним фасонным низкого давления портом для установки манометра и датчика. Для поверхностного монтажа см. серию SMSQ2Micro.
Все регуляторы SQ2Micro и SQ2Micro130E очищаются в соответствии со строгими требованиями полупроводниковой отрасли и собираются в условиях чистых помещений класса 100. Перед отправкой внутренняя (седельная) герметизация и внешние металлические уплотнения на 100% проверяются на утечку гелия с помощью масс-спектрометра для обеспечения производительности и надежности в требовательных UHP применениях.
Рынки:
•    Semiconductor
•    Analytical Laboratory
•    Pharmaceutical
•    BioPharm
•    Aerospace
•    Industrial

Применения:
•    Corrosive and specialty gases
•    Semiconductor Tools
•    Tool Hook-ups
•    Gas Cabinets
•    Valve Manifold Boxes (VMB)
Особенности и преимущества:
•    Чрезвычайно низкое количество частиц
•    Связанная диафрагма устраняет пружины в смачиваемой зоне и повышает безопасность
•    0.06 Cv для SMSQ2Micro, 0.15 Cv для SMSQ2Micro130E
•    Выходное давление в диапазоне от -10 psig до 60 psig
•    Внутренний уровень протечки: ≤ 5 x 10-8 scc/sec He
•    Внешний уровень протечки: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He
•    Электрополированная поверхность с шероховатостью 5 micro inch (Ra)
•    Рабочий температурный диапазон от -40°F до +150°F (-40°C до +66°C)

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division
Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.
Hastelloy C-22 -TM Haynes International, Inc.