ИНДИВИДУАЛЬНЫЕ РЕШЕНИЯ PTFE FLEXISEAL™ ДЛЯ АНАЛИТИЧЕСКОЙ ХИМИИ И ПРИМЕНЕНИЙ В ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ Parker FlexiSeal Face Seal- FEN-H FIN-H

Parker решения разработаны для обеспечения длительного срока службы, что означает, что оборудование может работать дольше до необходимости обслуживания и замены вышедших из строя уплотнений. Благодаря многолетнему опыту работы с высокопроизводительными термопластами и инженерными фторополимерами, включая PEEK, PTFE и наполненные компаунды PTFE, мы  знаем, что требуется для разработки оптимальных решений, соответствующих специфическим требованиям заказчиков в полупроводниковой отрасли.  
Our FlexiSeal"' profiles, Series FIN-H and FEN-H, provide reliable flange and gap sealing between chamber and atmospheric pressures in deposition and etch operations. Manufactured from high performance PTFE materials with attributes including outstanding chemical compatibility, thermal stability and extremely low friction, our FlexiSeal profiles are engineered to provide long service life in extreme environments.
Product Profiles:
Series FIN-H and FEN-H face seals (sometimes called flange seals) for internal or external pressure in static or intermittent dynamic applications provide reliable flange and gap sealing between chamber and atmospheric pressures in deposition and etch operations.
Profile Features:
• Высокочистые первичные или наполненные материалы PTFE в зависимости от требований приложения
• Высокая единичная контактная нагрузка для повышения герметичности
• Очень широкая химическая совместимость с жидкостями и газами
• Низкий уровень выщелачиваемых веществ и минимальная дегазация
• Широкий температурный диапазон (-450F до +600F)
• Низкое трение
• Долговечные уплотнительные материалы PTFE, устойчивые к деградации, термическому старению и изменению физических свойств при температурных циклах
Jacket design:  
Округлая форма кромки контактирует с сопрягаемой поверхностью аналогично O-ring.  Спиральная пружина вместе с округлыми, оформленными в виде бисера контактными точками обеспечивают высокую единичную нагрузку для повышения герметичности.
Spring design:
H Series, helical spring.  Конструкция спиральной пружины предназначена для статических или периодически динамических применений из?за высокой единичной нагрузки.  Пружина серии H распределяет нагрузку равномерно по каждой отдельной полосе, с очень малыми зазорами между витками.  Плотное расположение обеспечивает почти непрерывную нагрузку, уменьшая потенциальные пути утечки.  Это, в сочетании с высокой единичной нагрузкой, делает серию H хорошо подходящей для вакуумных применений или когда давление слишком мало, чтобы активировать уплотнение.  
Materials:
Jacket:  Virgin and filled PTFE compounds
Spring:  Corrosion resistant helical wound springs are available in metal alloys, including Stainless Steel, Elgiloy; PEEK

Applications:
FIN-H Series:  For internal static and intermittently dynamic flange and gap sealing between chamber and atmospheric pressures
FEN-H Series:  For external static and intermittently dynamic flange and gap sealing between chamber and atmospheric pressures

Products

FlexiSeal Face Seal- FEN-H FIN-H