Диафрагменный клапан сверхвысокой чистоты (UHP) с высоким расходом — серия 970 Parker

Серія 970 диафрагменного клапана предлагает исключительный ресурс циклов, герметичность и чистоту. Он может управляться вручную или пневматически и идеально подходит для применения в высокопоточных UHP полупроводниковых системах.

Parker 970 обеспечивает высокий расход и превосходную герметичность, что делает его идеальным для использования в приложениях ультра-высокой чистоты для полупроводникового оборудования, включая газовые боксы, газовые шкафы и valve manifold boxes (VMBs).

Конструкция серии 970 не содержит внутренних увлажнённых резьб или пружин, что минимизирует образование частиц и их захват, снижая контаминацию процесса.  Точная конструкция клапана контролирует напряжения седла и диафрагмы, обеспечивая надежный и не требующий обслуживания срок службы в тяжёлых условиях. Омываемые детали серии 970 изготовлены из специальных материалов для обеспечения исключительной коррозионной стойкости и герметичности. Внутренне электроотполированный корпус изготовлен из фирменной UHP марки 316L нержавеющей стали Vericlean™ компании Parker. Диафрагма выполнена из кобальтосодержащего высокопрочного сплава для максимального ресурса, а седло из PCTFE, PEEK® или Vespel® обеспечивает отличную химическую совместимость и надежное запирание.
Диафрагменный клапан серии 970 обеспечивает высокий поток, .70 Cv, в компактном исполнении, что делает его пригодным при ограниченном рабочем пространстве, например в газовых боксах, газовых шкафах и valve manifold boxes (VMBs). Он может быть ручным или пневматическим с максимальным рабочим давлением 250 и 150 psig соответственно.
Все клапаны серии 970 очищаются в соответствии с строгими требованиями полупроводниковой отрасли и собираются в чистых помещениях класса 100. Перед отправкой все уплотнения клапанов (седло и диафрагма) на 100% испытываются на утечку гелия с использованием масс-спектрометра для обеспечения производительности и надежности в требовательных UHP приложениях.
Рынки:
• Semiconductor
• Analytical Laboratory
• Pharmaceutical
• BioPharm
• Aerospace
• Industrial

Применения:
• Коррозионные и специальные газы
• Semiconductor Tools
• Tool Hook-ups
• Gas Cabinets
• Valve Manifold Boxes (VMB)

Особенности/Преимущества:
• 5 micro inch (Ra) electropolish поверхность
• Высокий ресурс циклов (включая коррозионные среды)
• Внутренне безпружинная и безрезьбовая конструкция минимизирует генерацию частиц и захват газа
• Полностью функционирует от вакуума до 250 psig
• Внутренний уровень утечки: ≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• Внешний уровень утечки: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• Пропускная способность потока: .7

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division
Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.
PEEK – TM Victrex plc.