UHP мембранный Y-клапан — ручной или с пневмоприводом (вакуум до 250 psig) — серия 955Y Parker

Материал корпуса:	Vericlean 316L Stainless Steel
Материал диафрагмы:	Elgiloy, эквивалент
Материал седла:	PCTFE (стандарт), PEEK, Vespel
Материал крышки:	17-4 Stainless Steel
Материал гайки:	17-4 Stainless Steel
Материал корпуса привода:	Anodized Aluminum
Испытательное давление:	375 psig (26 barg)
Давление разрушения:	750 psig (52 barg)
Пропускная способность:	Cv 0.43 (Process Valve) Cv 0.35 (Purge Valve)
Внутренний утечка:	? 4 x 10-9 scc/sec He
Внешняя утечка:	? 2 x 10-10 scc/sec He
Шероховатость поверхности:	10 micro inch Ra (стандарт), 5 micro inch Ra
Объем:	4.49 cm3
Вес:	2.11 lb, 0.98 kg
Максимально допустимое входное давление:	125 (NO) , 250 (NC, M) psig, 8.62 barg (NO) 17.22 barg (NC, M) barg
Давление привода:	75 psig (5 barg) номинально
Размер подключения подачи воздуха:	1/8-27 NPT
Максимальная рабочая температура:	66 °C, 150 °F
Минимальная рабочая температура:	-40 °C, -40 °F

Нержавеющий корпус диафрагменного Y-клапана Parker серии 955Y обеспечивает отличную герметичность, большой ресурс циклов и низкую генерацию частиц, что делает его идеальным для применения в UHP полупроводниковой отрасли.
В конструкции серии 955Y отсутствуют резьбовые соединения и пружины, контактирующие с рабочей средой, что минимизирует генерацию и задержание частиц для снижения загрязнения процесса, что критически важно для полупроводниковых приложений. Точная конструкция клапана контролирует напряжения в седле и диафрагме, обеспечивая надежный и не требующий обслуживания срок службы. Омываемые компоненты серии 955Y изготовлены из специальных металлов для обеспечения исключительной коррозионной стойкости и герметичности. Корпус внутренне электрополирован из Vericlean™ 316L stainless steel. Vericlean™ — собственная UHP марка нержавеющей стали Parker. Диафрагма выполнена из высокопрочного сплава на основе кобальта. Серия 955Y также предлагается с материалами седел PCTFE, PEEK® и Vespel® для совместимости с широким спектром рабочих сред. Эти материалы в сочетании с точными конструктивными особенностями серии 955Y обеспечивают ей экстремальную коррозионную стойкость и максимальный ресурс при входных давлениях до 250 psig.
Серия 955Y предлагается в нескольких конфигурациях проточной части для обеспечения продувки по восходящему, нисходящему и общему тракту. Внутренние объёмы «мертвых зон» минимизированы для повышения эффективности продувки. Воздушные клапаны серии могут быть сконфигурированы для обеспечения индикации положения открыто/закрыто с помощью либо концевого выключателя, либо датчика приближения. Для других конфигураций корпуса см. 955 (одноклапанный корпус) и SM955 (монтаж на поверхность).
Внутренние (седельные) уплотнения и металлические внешние уплотнения на всех клапанах серии 955Y проходят проверку на утечку Helium с использованием масс-спектрометра для обеспечения работоспособности и надежности в требовательных UHP приложениях.
Рынки:
• Semiconductor
• Analytical Laboratory
• Pharmaceutical
• BioPharm
• Aerospace
• Industrial
Особенности/Преимущества:
• Электрополированная поверхность с шероховатостью 5 microinch (Ra)
• Большой ресурс циклов (включая коррозионные среды)
• Внутренне безпружинная и безрезьбовая конструкция сводит к минимуму генерацию частиц и захват газа
• Полностью работоспособен от вакуума до 250 psig (ручной и NC с пневмоприводом) и 125 psig (NO с пневмоприводом)
• Внутренний коэффициент утечки: ? 4 x 10-9 scc/sec He
• Внешний коэффициент утечки: ? 2 x 10-10 scc/sec He
• Номинальное давление привода AOP 75 psig
Применения:
• Коррозионные и специализированные газы
• Semiconductor Tools
• Tool Hook-ups
• Gas Cabinets
• Valve Manifold Boxes (VMB)

VeriClean™ является товарным знаком Parker Hannifin Corporation
Vespel® является зарегистрированным товарным знаком DuPont Performance Elastomers L.L.C.
PEEK™ является товарным знаком Victrex plc.