Ручной шламовый клапан UHP PTFE (до 1 дюйма) — серия MV-20 Parker

Материал, контактирующий с рабочей средой:	PTFE, Modified PTFE
Материал, не контактирующий с рабочей средой:	PVDF, Viton, PTFE coated SS spring
Рабочее давление:	27” HG vacuum (913 mbar) - 80 PSIG (5.5 bar), 27” HG vacuum (913 mbar) - 100 PSIG (7 bar)
Максимальная температура окружающей среды:	66 °C, 150 °F
Минимальная температура окружающей среды:	-17 °C, 0 °F
Максимальная температура жидкости:	130 °C, 266 °F
Минимальная температура жидкости:	-17 °C, 0 °F
Скорость потока:	Cv: 0.20, 0.76, 2.4, 3.9, 6.4, 10.9, 13.5
Коэффициент потока:	Kv: 2.8 to 192.9 L/min
Длина:	3.8, 3.96, 5.2, 5.35, 6.22, 6.98, 8.07 inch, 96.52, 100.58, 132.08, 135.89, 157.99, 177.29, 204.98 mm

Серия MV-20 — это ручной диафрагменный клапан из фторполимера PTFE, используемый для регулирования потока абразивных шламовых сред и агрессивных жидкостей в полупроводниковой и чистой среде. Конструкция проточной части клапана обеспечивает минимальное падение давления, что позволяет снизить требования к давлению на входе и улучшить гидродинамику потока. Доступны исполнения 2-way и 3-way, а также три размера отверстия (1/4 inch, 1/2 inch и 1 inch). Размеры портов варьируются от 1/4 до 1-1/4 inches и могут поставляться с соединениями Parflare, Pargrip или Nippon Pillar S300.
Корпус шламового клапана серии MV-20 изготовлен из первичного 100% сверхвысокочистого PTFE для превосходной химической стойкости. В сочетании с цельной модифицированной PTFE диафрагмой это обеспечивает клапану отличную гибкость и максимальное число циклов при давлениях до 100 psig. Сам клапан также очень компактен, что позволяет операторам экономить критически важное пространство в чистых комнатах и подфабах.
Изогнутый и закруглённый проточный канал серии MV-20, а также открытая и прочищаемая форма камеры вокруг диафрагмы минимизируют турбулентность и устраняют резкие углы, которые могут вызывать сдвиг течения. Это снижает захват частиц и повышает защиту от коррозии.
В целом конструкция клапана особенно подходит для обработки абразивных и коррозионно-активных шламовых сред, таких как те, которые используются в процессах CMP (chemical-mechanical planarization или chemical-mechanical polishing) при производстве полупроводников. Серия MV-20 также подходит для широкого круга других процессов и аналитических применений в чистой зоне, таких как контроль потока кислот, химикатов и DI Water.
Внутреннее (посадочное) уплотнение серии MV-20 проходит испытание на утечку с использованием гелия для обеспечения работоспособности и надежности в чистых помещениях, где критически важны высокая герметичность и минимальное образование частиц.
Для пневматической версии шламового клапана серии MV-20 см. PV-20 Series.
Рынки:
• Semiconductor
• Analytical Laboratory
• Pharmaceutical
• BioPharm
• Aerospace
• Industrial
Особенности/Преимущества:
• Исключительная стойкость к коррозии
• Равномерно распределённые усилия уплотнения посадочного места минимизируют напряжение диафрагмы и седла клапана при одновременной стабилизации способности клапана выдерживать обратное давление
• Максимальная толщина диафрагмы минимизирует вероятность пропускания при одновременном увеличении ресурса циклов.
• Самоосушающаяся конструкция повышает надёжность при работе с агрессивными жидкостями в разомкнутой системе
• Соответствует стандарту SEMI-F57-0301 для полимерных компонентов
• Диапазон температуры окружающей среды: 0°F to +150° F (-17°C to +66° C)
• Диапазон температуры жидкости: 0°F to +266° F (-17°C to +130° C)
• Полностью функционален от вакуума до 100 psig
Применения:
• Оборудование для полупроводников
• Подсоединения оборудования
• Системы распределения шламов и агрессивных химикатов
• DI Water

Тип соединения порта	Размер корпуса (inch)	Регулирование потока	Продукты
1/4” Parflare	1/4	1/4 TURN	MV-20-04-0604
3/8” Parflare	1/4	1/4 TURN	MV-20-04-0606
1/2” Parflare	1/2	MULTI TURN	MV-20-08-0608
3/4” Parflare	1/2	MULTI TURN	MV-20-08-0612
3/4” Parflare	1	MULTI TURN	MV-20-16-0612
1” Parflare	1	MULTI TURN	MV-20-16-0616
1 1/4” Parflare	1	MULTI TURN	MV-20-16-0620