Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
Сверхвысокой чистоты (UHP) коллектор диафрагменных клапанов низкого расхода/давления — серия 930Y Parker
Гарантия 1 год
- Производитель:
- Parker Hannifin GmbH
- Производитель:
- Parker Hannifin GmbH
Серия 930Y сочетает два клапана в одном корпусе, упрощая интеграцию продувочной линии в газовую систему. Идеально подходит для (ультравысокой чистоты) полупроводниковых применений, требующих пропускной способности до 0.30 Cv и рабочее давление до 300 psig.
| Body Material: | VeriClean 316L Stainless Steel |
| Diaphragm Material: | Elgiloy, Equivalent |
| Seat Material: | PCTFE (std), PEEK, Vespel |
| Cap Material: | 17-4 Stainless Steel |
| Nut Material: | 316L Stainless Steel |
| Housing Material: | Anodized Aluminum |
| Proof Pressure: | 188 psig (13 barg) (NC, NO) 450 psig (31 barg) (I, M) |
| Burst Pressure: | 375 psig (26 barg) (NC, NO) 900 psig (62 barg) (I, M) |
| Flow Rate: | Cv 0.3 Process Valve (NC, NO, I) Cv 0.22 Process Valve, Lever (M) Cv 0.18 Purge Valve |
| Internal Leak Rate: | ? 1 x 10-9 scc/sec He |
| External Leak Rate: | ? 2 x 10-10 scc/sec He |
| Surface Finish: | 10 micro inch Ra |
| Volume: | 4.26 cm3 |
| Weight: | 2.1 lb, 0.95 kg |
| Maximum Inlet Pressure Rating: | 125 psig (8.6 barg) (NC, NO) 300 psig (20.7 barg) (I, M) |
| Minimum Inlet Pressure Rating: | Vacuum |
| Actuation Pressure: | 75 psig nominal (5 barg) |
| Air Inlet Connection Size: | 1/8-27 NPT |
| Bake Out Temperature: | in the open position: 250 °F, 121°C in the open position °C |
| Maximum Operating Temperature: | 66 °C, 150 °F |
| Minimum Operating Temperature: | -40 °C, -40 °F |
Диафрагменный Y?клапан Parker 930Y Series предлагает отличную герметичность, высокий ресурс циклов и низкую генерацию частиц, что делает его идеальным для использования в UHP полупроводниковых приложениях.
Безрезьбовая и безпружинная конструкция 930Y Series минимизирует генерацию частиц и области захвата частиц для снижения загрязнения процесса. Точная конструкция клапана контролирует напряжения в седле и диафрагме, обеспечивая надежный и не требующий обслуживания срок службы на протяжении миллионов циклов. Все смоченные компоненты изготовлены из специальных металлов для обеспечения исключительной коррозионной стойкости и герметичности. Внутренне электрополированный корпус из VeriClean™ 316L stainless steel и диафрагма из кобальтосодержащего сплава высокой прочности позволяют ему превосходить отраслевой стандарт Semi F20. Разнообразие доступных материалов седла: PCTFE, PEEK® и Vespel® позволяет серии 930Y работать при различных температурах и с широким спектром технологических рабочих сред. Эти материалы в сочетании с точными конструктивными решениями продукта обеспечивают серии 930Y исключительную коррозионную стойкость и максимальный ресурс циклов при входном давлении до 300 psig.
Серия 930Y предлагается в нескольких конфигурациях потока для обеспечения продувки по upstream, downstream и общему пути. Внутренние мертвые объёмы сведены к минимуму для повышения эффективности продувки.
Все клапаны серии 930Y очищаются в соответствии с строгими требованиями полупроводниковой отрасли и комплектуются в чистых помещениях класса 100. Перед отправкой все уплотнения клапанов (седло и диафрагма) на 100% проверяются на герметичность с использованием масс-спектрометра методом Helium leak test, чтобы обеспечить работоспособность и надежность в требовательных UHP приложениях.
Рынки:
•Semiconductor
•Analytical Laboratory
•Pharmaceutical
•BioPharm
•Aerospace
•IndustriaL
•Semiconductor
•Analytical Laboratory
•Pharmaceutical
•BioPharm
•Aerospace
•IndustriaL
Применения:
•Коррозионные и специальные газы
•Semiconductor Tools
•Tool Hook-ups
•Gas Cabinets
•Valve Manifold Boxes (VMB)
•Коррозионные и специальные газы
•Semiconductor Tools
•Tool Hook-ups
•Gas Cabinets
•Valve Manifold Boxes (VMB)
Особенности/Преимущества:
•5 microinch (Ra) electropolish surface finish
•Высокий ресурс циклов (включая работу в коррозионных средах)
•Внутренне безпружинная и безрезьбовая конструкция минимизирует генерацию частиц и захват газа
•Полностью функционален от вакуума до 300 psig (ручной) и 125 psig (с пневмоприводом)
•Внутренний уровень утечек: ? 1 x 10-9 scc/sec He
•Внешний уровень утечек: ? 2 x 10-10 scc/sec He
•Номинальное давление срабатывания AOP 75 psig
•5 microinch (Ra) electropolish surface finish
•Высокий ресурс циклов (включая работу в коррозионных средах)
•Внутренне безпружинная и безрезьбовая конструкция минимизирует генерацию частиц и захват газа
•Полностью функционален от вакуума до 300 psig (ручной) и 125 psig (с пневмоприводом)
•Внутренний уровень утечек: ? 1 x 10-9 scc/sec He
•Внешний уровень утечек: ? 2 x 10-10 scc/sec He
•Номинальное давление срабатывания AOP 75 psig
VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division
Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.
Peek – TM Victrex plc.
542-10020-00
Heidolph Unimax 2010 (EU-Plug) Платформа Шейкер орбитальная 542-10020-00
Пуско-наладка
Выполним распаковку, визуальную проверку, сборку и установку, запуск и настройку, проверку функциональности, проведем инструктаж персонала.
Техническое обслуживание
Проведем периодические регламентные работы: визуальный осмотр, очистка засоренных узлов и частей, замена расходных материалов и изношенных деталей, тестирование прибора, проверка показателей и измерение параметров, калибровка и настройка, обновление программного обеспечения.
IQ/OQ/PQ квалификация, валидация
Проведем монтажную (IQ), операционную (OQ) и эксплуатационную (PQ) квалификацию оборудования по протоколам производителя в полном соответствии с стандартами GMP/GLP.
Ремонт
Проведем диагностику в нашем сервисном центре или у Вас на предприятии, выявим причину поломки, устраним неисправность, проведем тестирование, настройку, калибровку отремонтированного оборудования.
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
Анна Гловацкая
Менеджер по работе с клиентами
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
Сверхвысокой чистоты (UHP) коллектор диафрагменных клапанов низкого расхода/давления — серия 930Y Parker
Гарантия 1 год
- Производитель:
- Parker Hannifin GmbH
