Ультравысокой чистоты (UHP) высокопоточный мембранный клапан – серия 955 Parker

Серия 955 обеспечивает отличную надежность, герметичность и чистоту, что делает её идеальной для использования в UHP полупроводниковых приложениях, требующих пропускной способности до 0.55 Cv и рабочих давлений до 250 psig.

Диафрагменный клапан Parker 955 Series предлагает превосходную герметичность, высокий ресурс циклов и низкую генерацию частиц, что делает его идеальным для использования в UHP полупроводниковых приложениях.
Дизайн серии 955 не содержит внутренних смачиваемых резьб или пружин, что минимизирует генерацию частиц и их задержание, снижая контаминацию процесса.  Точная конструкция клапана контролирует напряжения в седле и диафрагме, обеспечивая надежную и не требующую обслуживания работу в требовательных условиях. Смачиваемые компоненты серии 955 изготовлены из специализированных материалов для обеспечения исключительной коррозионной стойкости и герметичности. Внутренняя поверхность тела, отполированная электрополировкой, изготовлена из фирменной UHP нержавеющей стали 316L Parker, Vericlean™. Диафрагма выполнена из прочного кобальтового сплава для максимизации срока службы продукта, а седло из PCTFE, PEEK® или Vespel® обеспечивает отличную химическую совместимость и надежную запирающую способность.
Все клапаны серии 955 очищаются в соответствии с строгими требованиями полупроводниковой отрасли и собираются в чистых помещениях класса 100. Перед отгрузкой все уплотнения клапанов (седло и диафрагма) на 100% испытываются на утечку гелием с использованием масс-спектрометра для обеспечения работоспособности и надежности в требовательных UHP применениях.
Рынки:
• Semiconductor
• Analytical Laboratory
• Pharmaceutical
• BioPharm
• Aerospace
• Industrial

Применения:
• Коррозионные и специализированные газы
• Semiconductor Tools
• Tool Hook-ups
• Gas Cabinets
• Valve Manifold Boxes (VMB)

Особенности/Преимущества:
• Электрополированная поверхность с шероховатостью 5 микро дюймов (Ra)
• Высокий ресурс циклов (включая коррозионные среды)
• Внутренний дизайн без пружин и резьб минимизирует генерацию частиц и задержание газа
• Полнофункционален от вакуума до 250 psig
• Внутренний уровень утечки: ≤ 4 x 10-9 scc/sec He
• Внешний уровень утечки: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• Cv = 0.55

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division
Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.
PEEK – TM Victrex plc.