Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
Мембранный клапан для поверхностного монтажа сверхвысокой чистоты (UHP) — серия SM930 Parker
- Производитель:
- Parker Hannifin GmbH
- Производитель:
- Parker Hannifin GmbH
| Body Material: | VeriClean 316L Stainless Steel |
| Diaphragm Material: | Elgiloy, equivalent |
| Seat Material: | PCTFE (std), PEEK, Vespel |
| Cap Material: | 17-4 Stainless Steel |
| Nut Material: | 316L Stainless Steel |
| Burst Pressure: | 375 psig (26 barg) (LPNC, LPNO, LP1NC, G) 750 psig (52 barg) (I, K, M) |
| Proof Pressure: | 188 psig (13 barg) (LPNC, LPNO, LP1NC, G) 375 psig (26 barg) (I, K, M) |
| Flow Rate: | Cv 0.25 (LP) Cv 0.20 (1/4 Turn Manual) |
| Internal Leak Rate: | < 1 x 10-9 scc/sec He |
| External Leak Rate: | < 2 x 10-10 scc/sec He |
| Surface Finish: | 5 micro inch Ra or less |
| Maximum Inlet Pressure Rating: | 125 psig (8.6 barg) (LPNC, LPNO, LP1NC, G) 250 psig (17 barg) (I, K, M) |
| Minimum Inlet Pressure Rating: | Vacuum |
| Actuation Pressure: | 75 psig (5 barg) nominal |
| Bake Out Temperature: | in the open position: 250 °F, 121°C in open position °C |
| Maximum Operating Temperature: | 66 °C, 150 °F |
| Minimum Operating Temperature: | -40 °C, -40 °F |
Нержавеющий корпусный диафрагменный клапан Parker SM930 Series обеспечивает превосходную герметичность, длительный срок службы при циклировании и низкую генерацию частиц, что делает его идеальным для использования в UHP полупроводниковых приложениях.
Безрезьбовая и безпружинная конструкция SM930 Series минимизирует генерацию частиц и зоны их задержки для снижения контаминации процесса. Точная конструкция клапана контролирует напряжения седла и диафрагмы, обеспечивая надежный и не требующий обслуживания срок службы в миллионы циклов. Все смоченные компоненты изготовлены из специальных металлов для обеспечения исключительной коррозионной стойкости и герметичности. Внутренне электрополированное тело VeriClean™ 316L stainless steel и высокопрочная кобальтовая сплавная диафрагма позволяют превзойти отраслевой стандарт Semi F20. Разнообразие доступных материалов седла: PCTFE, PEEK® и Vespel® позволяет серии SM930 работать при различных температурах и с широким спектром технологических сред. Эти материалы в сочетании с точными конструктивными решениями обеспечивают серии SM930 чрезвычайную коррозионную стойкость и максимальный ресурс при входных давлениях до 250 psig.
Все клапаны SM930 Series очищаются в соответствии с точными требованиями полупроводниковой отрасли и собираются в чистых помещениях класса 100. Перед отгрузкой все уплотнения клапанов (седло и диафрагма) на 100% проверяются на утечку гелия с помощью масс-спектрометра для обеспечения производительности и надежности в предъявляющих высокие требования UHP приложениях.
Рынки:
• Semiconductor
• Analytical Laboratory
• Pharmaceutical
• BioPharm
• Aerospace
• Industrial
Применения:
• Corrosive and specialty gases
• Semiconductor Tools
• Tool Hook-ups
• Gas Cabinets
• Valve Manifold Boxes (VMB)
Особенности/Преимущества:
• 5 micro inch (Ra) electropolish surface finish
• High cycle life (including corrosive service)
• Internally springless and threadless design minimizes particle generation and gas entrapment
• Fully functional from vacuum to 250 psig
• Internal leak rate: ≤ 1 x 10-9 scc/sec He
• External leak rate: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He
• 75 psig nominal AOP actuation pressure
VeriClean ? TM Parker Hannifin, Verilfo Division
Vespel ? TM Dupont
Peek – TM Victrex plc.
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
Мембранный клапан для поверхностного монтажа сверхвысокой чистоты (UHP) — серия SM930 Parker
- Производитель:
- Parker Hannifin GmbH
