Диафрагменный клапан сверхвысокой чистоты (UHP) для низкого расхода и низкого давления – серия 930 Parker

Нержавеющий корпусный диафрагменный клапан Parker 930 Series обеспечивает отличную герметичность, высокий ресурс циклов и низкую генерацию частиц, что делает его идеальным для использования в UHP полупроводниковых применениях.

Безрезьбовая и безпружинная конструкция серии 930 минимизирует генерацию частиц и области их задержки, снижая загрязнение процесса. Точная конструкция клапана контролирует напряжения в седле и диафрагме, обеспечивая надежную и не требующую обслуживания эксплуатацию на протяжении миллионов циклов. Все смачиваемые компоненты изготовлены из специальных металлов для обеспечения исключительной коррозионной стойкости и герметичности. Внутренне электрополированная VeriClean™ 316L stainless steel корпус и диафрагма из высокопрочного кобальтового сплава позволяют превзойти отраночную спецификацию Semi F20. Разнообразие доступных материалов седла: PCTFE, PEEK® и Vespel® позволяет серии 930 работать при различных температурах и с широким спектром технологических сред. Эти материалы в сочетании с точными конструкторскими решениями обеспечивают серии 930 чрезвычайную коррозионную стойкость и максимальный ресурс циклов при входных давлениях до 300 psig.

Все клапаны серии 930 очищаются в соответствии с точными требованиями полупроводниковой отрасли и собираются в чистых помещениях класса 100. Перед отгрузкой все уплотнения клапана (седло и диафрагма) на 100% проходят проверку на герметичность с помощью масс-спектрометра по гелию, чтобы обеспечить работоспособность и надежность в требовательных UHP приложениях.

Рынки:

• Semiconductor

• Analytical Laboratory

• Pharmaceutical

• BioPharm

• Aerospace

• Industrial

Применения:

• Коррозионные и специализированные газы

• Semiconductor Tools

• Tool Hook-ups

• Gas Cabinets

• Valve Manifold Boxes (VMB)

Особенности/Преимущества:

• Электрополированная поверхность с шероховатостью 5 микро дюймов (Ra) на смачиваемых поверхностях

• Высокий ресурс циклов (включая коррозионную эксплуатацию)

• Внутренняя конструкция без пружин и резьбы минимизирует генерацию частиц и захват газа

• Различные конфигурации, предлагаемые с пневмоприводом и в ручном исполнении

• Полностью функционален от вакуума до 300 psig

• Внутренний уровень утечки: ≤ 1 x 10-9 scc/sec He

• Внешний уровень утечки: ≤ 2 x 10-10 scc/sec He

• Номинальное давление срабатывания AOP: 75 psig

VeriClean – TM Parker Hannifin Corporation, Veriflo Division

Vespel – TM DuPont Performance Elastomers L.L.C.

Peek – TM Victrex plc.