- Производитель:
- Hamamatsu
Система измерения толщины Optical NanoGauge C12562 — это компактная, экономящая пространство, бесконтактная система измерения толщины пленки, предназначенная для легкой установки в оборудовании, где это необходимо. В полупроводниковой промышленности измерение толщины кремния является важным из-за распространения технологии сквозных кремниевых переходов; а в индустрии производства пленок адгезионные слои становятся все тоньше, чтобы соответствовать спецификациям продукта. Поэтому эти отрасли теперь требуют еще большей точности в измерениях толщины в диапазоне от 1 мкм до 300 мкм. C12562 позволяет проводить точные измерения в широком диапазоне толщин от 500 нм до 300 мкм, включая толщину покрытия тонкой пленки и толщину подложки пленки, а также общую толщину. C12562 также предлагает быстрые измерения до 100 Гц, что делает его идеальным для измерений на высокоскоростных производственных линиях.
| Номер типа | C12562-04 |
|---|---|
| Диапазон измеряемой толщины пленки (стекло) | 500 нм до 300 мкм*1 |
| Воспроизводимость измерений (стекло) | 0,2 нм*2 *3 |
| Точность измерений (стекло) | ±0,4 %*3 *4 |
| Источник света | Галогенный источник света |
| Размер пятна | Примерно ?1 мм*3 |
| Рабочее расстояние | 10 мм*3 |
| Количество измеряемых слоев | Макс. 10 слоев |
| Анализ | Анализ Фурье, анализ подгонки, анализ оптических констант |
| Время измерения | 3 мс/точка*5 |
| Форма разъема волокна | FC |
| Функция внешнего управления | RS-232C, Ethernet |
| Источник питания | AC100 В до AC240 В, 50 Гц/60 Гц |
| Потребляемая мощность | Примерно 80 ВА |
*2 Стандартное отклонение (допуск) при измерении стеклянной пленки толщиной 1 мкм.
*3 В зависимости от оптической системы или увеличения объектива, который будет использоваться.
*4 Диапазон гарантии измерений, как указано в документе гарантии измерений VLSI Standards.
*5 Кратчайшее время экспозиции.
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.