- Производитель:
- Hamamatsu
Система измерения толщины Optical NanoGauge C13027 - это бесконтактная система измерения толщины пленки, использующая спектральную интерферометрию. C13027 не только поддерживает подключения PLC, но и разработан более компактным, чем наши другие модели, для легкой установки в оборудование. Наша серия Optical Gauge способна измерять толщину чрезвычайно тонких пленок до 10 нм, а также охватывает широкий диапазон толщин пленок от 10 нм до 100 мкм. Серия Optical Gauge также обеспечивает быстрые измерения до 200 Гц, что делает ее идеальной для измерений на высокоскоростных производственных линиях.
| Номер типа | C13027-12 |
|---|---|
| Диапазон измеряемой толщины пленки (стекло) *1 | 10 нм до 100 мкм |
| Диапазон измеряемой толщины пленки (кремний) *2 | 4.3 нм до 43 мкм |
| Воспроизводимость измерений (стекло) *3 *4 | 0.02 нм |
| Воспроизводимость измерений (кремний) *5 | 1 нм |
| Точность измерений *4 *6 | ±0.4 % |
| Источник света | Галогенный источник света |
| Диапазон длин волн измерений | 400 нм до 1100 нм |
| Размер пятна *4 | Прибл. ?1 мм |
| Рабочее расстояние *4 | 10 мм |
| Количество измеряемых слоев | Макс. 10 слоев |
| Анализ | Анализ FFT, анализ подгонки, анализ оптических констант |
| Кратчайшее время такта | < 3 мс/точка |
| Форма разъема световода | FC |
| Интерфейс внешней связи | RS-232C, Ethernet |
| Напряжение питания | AC100 В до AC240 В, 50 Гц/60 Гц |
| Потребляемая мощность | Прибл. 80 ВА |
?Выходной сигнал
??Аналоговый выход: 0 В до 10 В / Высокое сопротивление 3-канальный (Макс. 3 слоя)
??Выход тревоги: TTL / Высокое сопротивление 1-канальный
??Выход предупреждения: TTL / Высокое сопротивление 1-канальный
?Входной сигнал
??Сигнал начала измерения: TTL / Высокое сопротивление 1-канальный
*1 При пересчете с показателем преломления стекла = 1.5.
*2 При пересчете с показателем преломления кремния = 3.67.
*3 Стандартное отклонение (допуск) при измерении стеклянной пленки толщиной 400 нм.
*4 В зависимости от оптической системы или увеличения объектива, который будет использоваться.
*5 Стандартное отклонение (допуск) при измерении эталона толщиной 30 мкм.
*6 Диапазон гарантии измерений, как указано в документе гарантии измерений VLSI Standards.
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.