- Производитель:
- Hamamatsu
Система измерения толщины Multipoint NanoGauge C11295 - это система измерения толщины пленки, использующая спектральную интерферометрию. Она предназначена для измерения толщины пленки в процессе производства полупроводников, а также для контроля качества APC и пленок, установленных на оборудовании для производства полупроводников. Обеспечивает многоканальное измерение в реальном времени, что позволяет одновременно проводить многоканальное измерение и многоточечное измерение на поверхностях пленок. Одновременно она может измерять отражательную способность (пропускание), цвет объекта и их изменения со временем.
| Номер типа | C11295-XX*1 |
|---|---|
| Диапазон измеряемой толщины пленки (стекло) | 20 нм до 100 мкм*2 |
| Воспроизводимость измерений (стекло) | 0,02 нм*3 *4 |
| Точность измерений (стекло) | ±0,4 %*4 *5 |
| Источник света | Ксеноновый источник света *6 |
| Длина волны измерения | 320 нм до 1000 нм |
| Размер пятна | Прибл. ?1 мм*4 |
| Рабочее расстояние | 10 мм*4 |
| Количество измеряемых слоев | Макс. 10 слоев |
| Анализ | Анализ FFT, анализ подгонки |
| Время измерения | 19 мс/точка*7 |
| Форма разъема волокна | SMA |
| Количество точек измерения | 2 до 15 |
| Функция внешнего управления | Ethernet |
| Интерфейс | USB 2.0 (Основной блок - Компьютер) RS-232C (Источник света - Компьютер) |
| Источник питания | AC100 В до AC240 В, 50 Гц/60 Гц |
| Потребляемая мощность | При 2 каналах: прибл. 350 ВА, при 15 каналах: прибл. 500 ВА |
*2: При пересчете с показателем преломления стекла = 1,5.
*3: Стандартное отклонение (допуск) при измерении стеклянной пленки толщиной 400 нм.
*4: В зависимости от оптической системы или увеличения объектива, который будет использоваться.
*5: Диапазон гарантии измерений, как указано в документе гарантии измерений VLSI Standards.
*6: Модель галогенного источника света - C11295-XXH.
*7: Кратчайшее время экспозиции.
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.