Спектрометр ZSX Primus400 Rigaku

Последовательный дисперсионный по длине волны рентгенофлуоресцентный спектрометр для больших образцов

Элементный анализ твердых тел, жидкостей, порошков, сплавов и тонких пленок

Уникальный последовательный дисперсионный по длине волны рентгенофлуоресцентный (WDXRF) спектрометр ZSX Primus 400 от Rigaku был специально разработан для работы с очень большими и/или тяжелыми образцами. Принимая образцы диаметром до 400 мм, толщиной 50 мм и массой 30 кг, эта система идеально подходит для анализа мишеней для распыления, магнитных дисков или для метрологии многослойных пленок или элементного анализа больших образцов.

XRF с системой адаптера образцов

Имея возможность адаптироваться к вашим конкретным типам образцов и потребностям в анализе, этот WDXRF спектрометр может адаптироваться к различным размерам и формам образцов с использованием опциональных (изготовленных на заказ) вставок адаптеров. С переменной зоной измерения (диаметром от 30 мм до 0,5 мм, с 5-ступенчатым автоматическим выбором) и возможностью картирования с многоточечными измерениями для проверки однородности образца, этот уникально гибкий инструмент может значительно упростить ваши процессы контроля качества.

XRF с доступной камерой и специальным освещением

Опциональная камера в реальном времени позволяет просматривать область анализа в программном обеспечении. Оператор имеет полную уверенность в том, что измеряется.

Традиционные аналитические возможности WDXRF

Все аналитические возможности традиционного инструмента сохранены в этом варианте для "больших образцов". Анализируйте бериллий (Be) до урана (U) с высоким разрешением и высокой точностью WDXRF спектроскопии, от твердых тел до жидкостей и порошков до тонких пленок. Анализируйте широкие диапазоны составов (ppm до десятков процентов) и толщин (от суб ? до мм). Опционально доступно отклонение пиков дифракции для оптимальных результатов для монокристаллических подложек. Рентгенофлуоресцентный спектрометр ZSX Primus 400 с дисперсией по длине волны (WD-XRF) соответствует отраслевым стандартам SEMI и CE.

Применения ZSX Primus 400

• Состав мишеней для распыления
• Изоляционные пленки: SiO₂, BPSG, PSG, AsSG, Si?N?, SiOF, SiON и др.
• Высокок и ферродиэлектрические пленки: PZT, BST, SBT, Ta?O?, HfSiOx
• Металлические пленки: Al-Cu-Si, W, TiW, Co, TiN, TaN, Ta-Al, Ir, Pt, Ru, Au, Ni и др.
• Электродные пленки: легированный поли-Si (легирующий элемент: B, N, O, P, As), аморфный-Si, WSix, Pt и др.
• Другие легированные пленки (As, P), захваченный инертный газ (Ne, Ar, Kr и др.), C (DLC)
• Ферроэлектрические тонкие пленки, FRAM, MRAM, GMR, TMR; PCM, GST, GeTe
• Состав паяных шариков: SnAg, SnAgCuNi
• MEMS: толщина и состав ZnO, AlN, PZT
• Процесс устройства SAW: толщина и состав AlN, ZnO, ZnS, SiO? (пьезо пленка); Al, AlCu, AlSc, AlTi (электродная пленка)

Аксессуары ZSX Primus 400

• Камера образца со специальным освещением позволяет просматривать точку анализа на экране
• Отклонение дифракционных помех обеспечивает точные результаты для монокристаллических подложек
• Программное обеспечение Fundamental Parameters для анализа тонких пленок