Узнать цену

Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.

  • Привезем под заказ
  • Срок поставки с завода 6-8 недель

Система рентгеновской топографии XTRAIA XT Series (Fab) Rigaku

Гарантия 1 год
Производитель:
Rigaku
Онлайн консультант Анна Головацкая
Онлайн консультант Анна Головацкая Получить консультацию эксперта
Производитель:
Rigaku

Рентгеновская топография, которая видит под поверхностью

Высокоточное, неразрушающее визуализация дефектов пластин для производства полупроводников

Серия XTRAIA XT от Rigaku — это передовая система рентгеновской топографии (XRT) с высоким разрешением, предназначенная для обнаружения кристаллографических дефектов на пластинах и эпитаксиальных слоях. Обеспечивая полное неразрушающее изображение пластин с исключительной скоростью и точностью, серия XTRAIA XT позволяет фабрикам достигать более высокой производительности, улучшенного контроля процессов и долгосрочной надежности в устройствах полупроводников следующего поколения.

Доступные модели:

  • XTRAIA XT-3000: Поддерживает пластины до 300 мм

Обзор серии XTRAIA XT (Fab)

Разработанная как для исследований и разработок, так и для массового производства, серия XTRAIA XT легко интегрируется в рабочие процессы фабрик. Ее дизайн, готовый к чистым помещениям, обеспечивает совместимость с жесткими требованиями контроля загрязнений, а ее автоматизация — охватывающая выравнивание, переключение оптики и получение изображений — снижает нагрузку на оператора и изменчивость. Будь то кремний или передовые составные полупроводники (SiC, GaN, InP, GaAs, AlN, Ga?O?), серия XTRAIA XT обеспечивает разрешение и повторяемость, необходимые для передовых приложений памяти, логики, мощности, фотоники, RF и сенсоров.

Серия XTRAIA XT позволяет полупроводниковым фабрикам визуализировать дислокации, линии скольжения и другие кристаллографические дефекты, которые угрожают производительности устройств. Построенная для полной оценки пластин до 300 мм, она обеспечивает масштабируемое управление производительностью от лаборатории до фабрики. Основные преимущества включают:

  • Высокое разрешение, высокая скорость полного изображения пластин
  • Неразрушающее измерение с минимальным загрязнением частицами или металлами
  • Система, готовая к автоматизации, для гибкости в контроле качества и исследованиях и разработках
  • Широкая совместимость с материалами (Si, SiC, GaN, InP, GaAs, AlN, Ga?O?)
  • Соответствие SEMI S2/S8
  • Соответствие SECS/GEM и GEM300

Особенности серии XTRAIA XT (Fab)

Режимы передачи и отражения в одной системе
Многоанализный режим для комплексной идентификации дефектов
Детектор с высоким разрешением и многослойная оптика для превосходной четкости изображения
Автоматизированная обработка пластин, поддерживающая пластины 100, 150, 200 и 300 мм
Программное обеспечение управления с базой данных рецептов, интеграция SECS/GEM и GEM300
Программное обеспечение для анализа дефектов (XRT Toolbox) с отчетностью, соответствующей SEMI (M91, M93) для SiC
Сравнимость инструментов, обеспечивающая повторяемость на производственных линиях
Соответствие SEMI S2/S8

Технические характеристики серии XTRAIA XT (Fab)

Техника Рентгеновская топографическая визуализация
Цель Неразрушающая оценка монокристаллических материалов
Технология Переключение между топографией передачи и отражения
Ключевые компоненты Микроисточник рентгеновского излучения высокой яркости; Специализированная рентгеновская зеркальная оптика; Камера с высоким разрешением и высокой чувствительностью; Система передачи
Опции Камера HR-XTOP, Кристаллический коллиматор, Инспекция дефектов с помощью программного обеспечения XRT Toolbox
Передача пластин / Обработка образцов Поддерживает автоматизированную обработку пластин
Минисреда Эквивалентно ISO 14644-1 Класс 6
Соответствие SEMI S2 / S8 / GEM300
Heidolph Unimax 2010 (EU-Plug) Платформа Шейкер орбитальная 542-10020-00
542-10020-00
Heidolph Unimax 2010 (EU-Plug) Платформа Шейкер орбитальная 542-10020-00
Пуско-наладка
Выполним распаковку, визуальную проверку, сборку и установку, запуск и настройку, проверку функциональности, проведем инструктаж персонала.
Техническое обслуживание
Проведем периодические регламентные работы: визуальный осмотр, очистка засоренных узлов и частей, замена расходных материалов и изношенных деталей, тестирование прибора, проверка показателей и измерение параметров, калибровка и настройка, обновление программного обеспечения.
IQ/OQ/PQ квалификация, валидация
Проведем монтажную (IQ), операционную (OQ) и эксплуатационную (PQ) квалификацию оборудования по протоколам производителя в полном соответствии с стандартами GMP/GLP.
Ремонт
Проведем диагностику в нашем сервисном центре или у Вас на предприятии, выявим причину поломки, устраним неисправность, проведем тестирование, настройку, калибровку отремонтированного оборудования.

Получите коммерческое предложение в течение 1 часа

Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа

Анна Гловацкая Менеджер по работе с клиентами
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Как к вам обращаться?
Введите телефон
Введите email
Комментарий (если есть)
Прикрепить ТЗ или заявку (до 10 мб)

С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии

Обрудование подберут сотрудники с высшим химическим образованием

Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.

Организуем поставку с завода- изготовителя за 6-8 недель

У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.

Храним оборудование по требованиям производителя

Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.

Доставим по Москве на следующий день, по России — за 3-4 дня

Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.

Выполним бесплатный ремонт и сервисное обслуживание

В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.

Обеспечим легкое внедрение на предприятие

Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.

Отзывы

Узнать цену

Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.

  • Привезем под заказ
  • Срок поставки с завода 6-8 недель

Система рентгеновской топографии XTRAIA XT Series (Fab) Rigaku

Гарантия 1 год
Производитель:
Rigaku
Онлайн консультант Анна Головацкая
Онлайн консультант Анна Головацкая Получить консультацию эксперта

Похожие товары: