- Производитель:
- Rigaku
Рентгеновская топография, которая видит под поверхностью
Высокоточное, неразрушающее визуализация дефектов пластин для производства полупроводников
Серия XTRAIA XT от Rigaku — это передовая система рентгеновской топографии (XRT) с высоким разрешением, предназначенная для обнаружения кристаллографических дефектов на пластинах и эпитаксиальных слоях. Обеспечивая полное неразрушающее изображение пластин с исключительной скоростью и точностью, серия XTRAIA XT позволяет фабрикам достигать более высокой производительности, улучшенного контроля процессов и долгосрочной надежности в устройствах полупроводников следующего поколения.
Доступные модели:
- XTRAIA XT-3000: Поддерживает пластины до 300 мм
Обзор серии XTRAIA XT (Fab)
Разработанная как для исследований и разработок, так и для массового производства, серия XTRAIA XT легко интегрируется в рабочие процессы фабрик. Ее дизайн, готовый к чистым помещениям, обеспечивает совместимость с жесткими требованиями контроля загрязнений, а ее автоматизация — охватывающая выравнивание, переключение оптики и получение изображений — снижает нагрузку на оператора и изменчивость. Будь то кремний или передовые составные полупроводники (SiC, GaN, InP, GaAs, AlN, Ga?O?), серия XTRAIA XT обеспечивает разрешение и повторяемость, необходимые для передовых приложений памяти, логики, мощности, фотоники, RF и сенсоров.
Серия XTRAIA XT позволяет полупроводниковым фабрикам визуализировать дислокации, линии скольжения и другие кристаллографические дефекты, которые угрожают производительности устройств. Построенная для полной оценки пластин до 300 мм, она обеспечивает масштабируемое управление производительностью от лаборатории до фабрики. Основные преимущества включают:
- Высокое разрешение, высокая скорость полного изображения пластин
- Неразрушающее измерение с минимальным загрязнением частицами или металлами
- Система, готовая к автоматизации, для гибкости в контроле качества и исследованиях и разработках
- Широкая совместимость с материалами (Si, SiC, GaN, InP, GaAs, AlN, Ga?O?)
- Соответствие SEMI S2/S8
- Соответствие SECS/GEM и GEM300
Особенности серии XTRAIA XT (Fab)
Технические характеристики серии XTRAIA XT (Fab)
| Техника | Рентгеновская топографическая визуализация | |
|---|---|---|
| Цель | Неразрушающая оценка монокристаллических материалов | |
| Технология | Переключение между топографией передачи и отражения | |
| Ключевые компоненты | Микроисточник рентгеновского излучения высокой яркости; Специализированная рентгеновская зеркальная оптика; Камера с высоким разрешением и высокой чувствительностью; Система передачи | |
| Опции | Камера HR-XTOP, Кристаллический коллиматор, Инспекция дефектов с помощью программного обеспечения XRT Toolbox | |
| Передача пластин / Обработка образцов | Поддерживает автоматизированную обработку пластин | |
| Минисреда | Эквивалентно ISO 14644-1 Класс 6 | |
| Соответствие SEMI | S2 / S8 / GEM300 | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.



