Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Соединение НИОКР и производства
Решение для рентгеновской топографии для бесшовного перехода от лаборатории к фабрике
Система XRTmicron Near-Fab — это гибридное решение Rigaku для производителей полупроводников, которым нужен гибкий инструмент, обслуживающий как исследовательские, так и пилотные производственные линии. Предлагая как ручную, так и автоматическую передачу пластин, конфигурация Near-Fab обеспечивает универсальность, необходимую для развивающихся рабочих процессов.
Разработанная для минимизации загрязнения,, неразрушающая оценка пластин, система поддерживает широкий диапазон размеров пластин (75–300 мм) и подложек, включая Si, SiC, GaN, GaAs, InP, AlN и Ga?O?. С передовой оптикой, детекторами и возможностями 3D-топографии поперечного сечения XRTmicron Near-Fab обеспечивает точную визуализацию дефектов при подготовке процессов к развертыванию в масштабе фабрики.
Обзор XRTmicron Near-Fab
XRTmicron Near-Fab разработан для производителей полупроводников, которым требуется гибкая система оценки, работающая как в средах НИОКР, так и на пилотных производственных линиях и в массовом производстве. Расположенная между конфигурациями Lab и Fab, она сочетает в себе исследовательскую точность с автоматизацией и надежностью, необходимыми для интеграции процессов и контроля качества.
Поддерживая пластины до 300 мм, система Near-Fab предлагает как ручную, так и автоматическую передачу пластин, что делает ее идеальной для фабрик в переходном периоде — от ранних исследований материалов до квалификации процессов и мониторинга качества в реальном времени. Ее неразрушающая, высокоразрешающая визуализация обеспечивает детальную визуализацию дислокаций, линий скольжения и других кристаллографических дефектов, которые напрямую влияют на выход и надежность устройств.
С программным обеспечением для анализа дефектов, соответствующим стандартам SEMI, XRTmicron Near-Fab позволяет инженерам преодолеть разрыв между открытием и массовым производством, обеспечивая готовность материалов и процессов к производству.
Применения
- SiC для силовых устройств: картирование TSD и BPD (соответствует SEMI M91/M93)
- GaN и AlN для РЧ, оптоэлектроники и силовых устройств: разработка процессов и контроль качества
- InP и GaAs для VCSEL и фотоники: картирование дефектов на уровне подложки и эпитаксии
- Ga?O? для силовых устройств: улучшение качества подложки и эпитаксии
- Al?O? в качестве оптоэлектронных подложек: улучшение процессов и контроль качества
- Суперрешетки Si/SiGe для 3D-DRAM и передовых логических структур: разработка процессов и обнаружение несоответствующих дислокаций
Особенности XRTmicron Near-Fab
Технические характеристики XRTmicron Near-Fab
| Техника | Рентгеновская топографическая визуализация | |
|---|---|---|
| Цель | Неразрушающая оценка монокристаллических материалов | |
| Технология | Переключение между топографией в передаче и отражении | |
| Ключевые компоненты | Источник микрорентгена высокой яркости; Специализированная рентгеновская зеркальная оптика; Высокочувствительная рентгеновская камера высокого разрешения; Система передачи | |
| Опции | Камера HR-XTOP, кристаллический коллиматор, инспекция дефектов с использованием программного обеспечения XRT Toolbox | |
| Передача пластин / Обработка образцов | Поддерживает как автоматическую, так и ручную обработку пластин | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
