Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Инструмент метрологии критических размеров для полупроводниковых приложений на основе рассеяния рентгеновских лучей при скользящем падении
- Неразрушающий анализ критических размеров и профилирование формы на основе GISAXS
- Точность на уровне субнанометров для неглубоких и повторяющихся структур
- Картирование всей пластины и распознавание шаблонов
- Идеально подходит для FinFETs, EUV резистов и неглубоких элементов памяти
XTRAIA CD-3010G предназначен для анализа критических размеров с использованием рассеяния рентгеновских лучей при малых углах падения (GISAXS). Этот передовой инструмент метрологии позволяет проводить структурное профилирование наномасштабных шаблонов, включая линии и пространства, точки или неглубокие отверстия, без повреждения образца.
Его совместимость с различными материалами, включая слои EUV резистов, в сочетании с картированием всей пластины и надежным распознаванием шаблонов делает его подходящим как для НИОКР, так и для сред с массовым производством.
Обзор XTRAIA CD-3010G
XTRAIA CD-3010G — это передовой инструмент метрологии, предназначенный для неразрушающей оценки критических размеров (CD) и структурных характеристик в производстве полупроводников. Используя технологию рассеяния рентгеновских лучей при малых углах падения (GISAXS), эта система обеспечивает точные измерения наномасштабных структур, включая глубину, форму, угол боковой стенки и многое другое.
Разработанный для передового производства, XTRAIA CD-3010G обеспечивает превосходную точность и надежность, что делает его важным решением как для НИОКР, так и для массового производства.
Особенности XTRAIA CD-3010G
Технические характеристики XTRAIA CD-3010G
| Техника | Рассеяние рентгеновских лучей при малых углах падения (GISAXS), XRR | |
|---|---|---|
| Преимущества | Точное профилирование критических размеров неглубоких структур с повторяющимися шаблонами | |
| Источник рентгеновских лучей | Запечатанная трубка, Cu Ka (8.04 KeV) | |
| Рентгеновская оптика | Оптика многослойного зеркала | |
| Рентгеновский детектор | 2D детектор | |
| Совместимость образцов | Шаблонные пластины (резист, FinFETs, структуры памяти) | |
| Атрибуты | Линия и пространство, точка/отверстие, профилирование неглубоких структур | |
| Особенности | Распознавание шаблонов, картирование критических размеров всей пластины | |
| Опции | Программное обеспечение GEM300, автоматизация E84/OHT | |
| Результаты измерений | Ширина критических размеров, угол боковой стенки, форма, высота, распределение наклона | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
