Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Продвинутая метрологическая установка для измерения критических размеров с использованием рентгеновской передачи
- Передача SAXS для наноструктур с высоким соотношением сторон
- Картирование всей пластины с разрешением менее нанометра
- Неразрушающий анализ формы, глубины и наклона
- Поддержка профилирования DRAM, 3D-NAND, FinFET и EUV резистов
XTRAIA CD-3200T обеспечивает продвинутую метрологию критических размеров с использованием передачи малоуглового рентгеновского рассеяния (TSAXS). Разработанная для неразрушающего анализа особенностей с высоким соотношением сторон, система предоставляет точные измерения глубины наноструктур, углов боковых стенок и 3D-профилей без модификации образца.
Ее возможности картирования всей пластины и совместимость как с органическими, так и с неорганическими материалами делают ее идеальным инструментом для оценки продвинутых структур памяти и точности шаблонов. Способность системы к немедленному измерению и высокая производительность позволяют оптимизировать контроль критических размеров в производственных и исследовательских средах.
Обзор XTRAIA CD-3200T
Разработанная для производителей устройств памяти и логики, XTRAIA CD-3200T применяет TSAXS для обеспечения высокоточной, неразрушающей анализа наноструктур. Она упрощает мониторинг качества, поддерживая широкий спектр материалов и шаблонов без необходимости в библиотеках измерений или предварительной обработке.
XTRAIA CD-3200T — это продвинутый метрологический инструмент, предназначенный для точной характеристики наноструктур в производстве полупроводников. Он использует технологию передачи малоуглового рентгеновского рассеяния (TSAXS) для точных измерений критических размеров (CD), включая углы боковых стенок.
Оптимизированная для приложений с высокой производительностью, она позволяет выполнять картирование всей пластины с разрешением менее нанометра и может оценивать как органические, так и неорганические материалы, предоставляя надежные данные для контроля качества. Ее высокая чувствительность и инновационный дизайн делают XTRAIA CD-3200T незаменимой для точности и эффективности в производстве полупроводников.
Особенности XTRAIA CD-3200T
Технические характеристики XTRAIA CD-3200T
| Техника | Передача малоуглового рентгеновского рассеяния (TSAXS) | |
|---|---|---|
| Преимущество | Профилирование CD структур HAR с разрешением менее нанометра | |
| Источник рентгена | Вращающийся анод (Mo Ka, 17.4 keV) | |
| Рентгеновская оптика | Многослойная зеркальная оптика | |
| Рентгеновский детектор | HyPix 6000HE (2D) | |
| Совместимость образцов | Шаблонные пластины, органические и неорганические материалы | |
| Атрибуты | Метрология с высоким соотношением сторон; профилирование глубоких отверстий, 3D-структур | |
| Особенности | Распознавание шаблонов, картирование всей пластины | |
| Опции | Программное обеспечение GEM300, совместимость с E84/OHT | |
| Результаты измерений | Профиль CD, глубина, форма, наклон в плоскости, картирование CD всей пластины | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
