- Производитель:
- Rigaku
Инлайн-метрологический инструмент HRXRD и XRR
XTRAIA XD-3300 — это универсальный рентгеновский метрологический инструмент, позволяющий проводить неразрушающий анализ одно- и многослойных пленок на сплошных и структурированных пластинах диаметром 300 мм и 200 мм с высокой производительностью в условиях массового производства.
Результаты измерений включают толщину пленки, плотность и шероховатость (рентгеновская рефлектометрия, XRR) и толщину эпитаксиальной пленки, состав, напряжение, релаксацию решетки и качество кристаллической структуры (высокоточное рентгеновское дифракционное исследование, HRXRD).
Обзор XTRAIA XD-3300
Поддерживает различные приложения, включая инлайн XRD/XRR многослойных пленок, металлические тонкие пленки, пьезоэлектрические тонкие пленки, SiGe и анализ толщины и состава пленок полупроводниковых соединений, позволяя выбрать оптимальную конфигурацию оборудования в зависимости от приложения.
Особенности XTRAIA XD-3300
Технические характеристики XTRAIA XD-3300
| Техника | Высокоточное рентгеновское дифракционное исследование (HRXRD), рентгеновская рефлектометрия (XRR) | |
|---|---|---|
| Преимущество | Для сплошных/структурированных эпитаксиальных тонких пленок. Двойной луч (линейный и микро-спот) Распознавание образцов |
|
| Рентгеновский источник | Источник 1: 9 кВт медный вращающийся анод или 2,2 кВт медная запаянная трубка Источник 2: Гибридный медный модуль COLORS для измерений структурированных пластин |
|
| Атрибуты | Метрология сплошных и структурированных пластин Рентгеновская оптика: Макс. 2 монохроматора из Ge(400)x2, Ge(220)x2, Ge(220)x4 Рентгеновский детектор: 2D (HyPix-3000) Малый размер пятна, распознавание образцов, высокая интенсивность и ось чи Высокоточный гониометр |
|
| Особенности | Высокоинтенсивный вращающийся анод и микро-спот луч Гибридный медный модуль COLORS |
|
| Опции | Монохроматоры Разнообразие оптических компонентов Программное обеспечение GEM300, поддержка E84/OHT |
|
| Размеры | 1656(Ш) x 3689(Г) x 2289(В) мм | |
| Результаты измерений | HRXRD, XRR, Кривая качания и RSM | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
