Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Неразрушающий метрологический инструмент рентгеновской рефлектометрии для многослойных пленок, масок EUV и передовых приложений тонких пленок
- Характеризует толщину и плотность многослойных структур
- Субнанометровая точность для шероховатости поверхности/интерфейса
- Автоматизированный и неразрушающий рабочий процесс
- Разработан для применения в полупроводниках и фотошаблонах
XTRAIA XD-2000-R — это прецизионная метрологическая система, использующая рентгеновскую рефлектометрию (XRR) для измерения свойств тонких пленок с исключительной точностью. Она специально создана для оценки многослойных структур в масках EUV и передовых тонких пленках, используемых в производстве полупроводников. Инструмент предлагает субнанометровое разрешение и поддерживает картирование образцов на большой площади.
Полностью автоматизированная и оснащенная передовыми оптическими компонентами, XD-2000-R обеспечивает быстрые и надежные результаты для обеспечения качества и разработки процессов.
Обзор XTRAIA XD-2000-R
XTRAIA XD-2000-R — это высокоточная метрологическая система, предназначенная для передовых измерений рентгеновской рефлектометрии (XRR). Она предлагает непревзойденную точность в анализе толщины пленки, плотности и шероховатости поверхности/интерфейса. Она специально разработана для применения в полупроводниках и масках EUV и идеально подходит для характеристики многослойных пленок в условиях, требующих высокой производительности и детального анализа.
Особенности XTRAIA XD-2000-R
Технические характеристики XTRAIA XD-2000-R
| Техника | Высокоточная рентгеновская рефлектометрия (HRXRR) | |
|---|---|---|
| Чувствительность | Субнанометровый масштаб | |
| Совместимость образцов | Маски EUV, форматы, совместимые с SMIF | |
| Измеряемые параметры | Толщина пленки, плотность, шероховатость интерфейса | |
| Разрешение | Субнанометровое вертикальное разрешение | |
| Преимущество | Точная характеристика многослойных структур и интерфейсов | |
| Автоматизация | Полностью автоматизирована с настройкой рецептов | |
| Технология | Гониометр с детектором HyPix и многослойной оптикой | |
| Соответствие | GEM300, SEMI S2/S8, CE, NFPA, директивы ЕС | |
| Производительность | Примерно 15 минут на точку измерения | |
| Основные характеристики | Неразрушающий анализ, продвинутая интерпретация данных | |
| Основные функции | Точная метрология пленок, профилирование шероховатости | |
| Опции | Многоугловая XRR, расширенная обработка масок, продвинутое программное обеспечение | |
| Результаты измерений | Профили рефлектометрии, толщина, шероховатость, плотность | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
