Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Встроенный инструмент для метрологии HRXRD и XRR
Высокоточное XRD-характеризование эпитаксиальных пленок для сплошных и структурированных пластин
XTRAIA XD-3200 — это универсальный инструмент рентгеновской метрологии, обеспечивающий неразрушающий анализ одно- и многослойных пленок на сплошных пластинах 300 мм и 200 мм с высокой производительностью в условиях массового производства.
Результаты измерений включают толщину пленки, плотность и шероховатость (по рентгеновской рефлектометрии, XRR) и толщину эпитаксиальной пленки, состав, напряжение, релаксацию решетки и качество кристаллической структуры (по высокоразрешающей XRD, HRXRD).
Обзор XTRAIA XD-3200
Рентгеновское метрологическое решение для широкого спектра применений на сплошных пластинах
Транзисторы (SiGe), светодиоды/лазеры (GaN, GaAs, InP), MEMS/датчики (PZT, AlN), новая память (GST), металлические пленки и многослойные пленки
Этот сложный инструмент рентгеновской метрологии обеспечивает высокопроизводительные измерения в условиях массового производства на сплошных пластинах 300 мм (и 200 мм), начиная от ультратонких однослойных пленок до многослойных структур.
Превосходные возможности XTRAIA XD-3200 обусловлены мировыми разработками Rigaku в ключевых компонентах рентгеновских систем, включая технологию источников высокой яркости, многослойную оптику и современные 2D-детекторы с ультравысоким динамическим диапазоном и высокой чувствительностью.
XTRAIA XD-3200 предлагает:
- Рентгеновскую рефлектометрию (XRR) для характеристики толщины, плотности и шероховатости одно- и многослойных пленок всех типов (аморфных, поликристаллических, эпитаксиальных).
- Высокоточное XRD (HRXRD) для характеристики толщины эпитаксиальной пленки, состава, напряжения и качества кристаллической структуры с помощью измерений кривой качания (RC) и картирования в обратном пространстве (RSM).
- Четвертькруглый чиподобный держатель для измерений углов поворота/наклона и измерений ориентации кристаллов (текстура пленки).
Особенности XTRAIA XD-3200
Технические характеристики XTRAIA XD-3200
| Техника | Высокоточная рентгеновская дифракция (HRXRD), рентгеновская рефлектометрия (XRR) | |
|---|---|---|
| Преимущество | Неразрушающий анализ пластин для многослойных материалов и эпитаксиальных пленок. Измерения толщины, состава, напряжения, релаксации решетки и качества кристаллической структуры | |
| Рентгеновский источник | 9 кВт медный вращающийся анод или 2,2 кВт медная запечатанная трубка Линейный фокус с зеркалом и/или 2/4 отражающими кристаллами. |
|
| Технология | Для сплошных эпитаксиальных тонких пленок (например, многослой Si/SiGe) | |
| Атрибуты | Метрология сплошных пластин Рентгеновский детектор: 2D (HyPix-3000) Рентгеновский источник: 9 кВт медный вращающийся анод Рентгеновская оптика: Макс. 2 монохроматора Ge (400)x2, Ge(220)x2, Ge(220)x4 Высокоточный гониометр |
|
| Особенности | Высокоинтенсивный вращающийся анод Ось Chi |
|
| Размеры | 1656(Ш) x 3689(Г) x 2289(В) мм | |
| Результаты измерений | HRXRD и XRR XRR, XRD, Кривая качания и RSM |
|
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
