Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
TXRF спектрометр с интегрированным VPD
Высокоскоростное картирование металлических загрязнений
Наивысшая чувствительность с VPD
Анализ тотальной отражательной рентгеновской флуоресценции (TXRF) может оценивать загрязнения во всех процессах фабрики, включая очистку, литографию, травление, обжиг, пленки и т.д. TXRF-V310 может измерять элементы от Na до U с помощью одноцелевой, трехлучевой рентгеновской системы и системы детекторов без жидкого азота.
TXRF-V310 включает запатентованную систему образцов Rigaku XY?, вакуумную систему роботизированной передачи пластин и новое удобное программное обеспечение для Windows. Все это способствует более высокой производительности, точности и легкости в рутинной эксплуатации.
Обзор TXRF-V310
Интегрированная возможность разложения в паровой фазе (VPD) позволяет автоматически готовить VPD для одной пластины, пока проводится измерение TXRF на другой пластине, обеспечивая наивысшую чувствительность и высокую производительность. VPD-TXRF устраняет вариабельность оператора, которая может возникнуть с ICP-MS, и VPD-TXRF может быть полностью управляемым через автоматизацию фабрики. Доступно восстановление VPD из выбранных областей, включая область скоса.
Предел обнаружения типичных элементов (LLD?
| Предел обнаружения LLD (E10 атомов/см?) | Al | Fe | Ni | Cu |
| TXRF | 25 | 0.10 | 0.10 | 0.15 |
| VPD-TXRF | 0.1 | 0.001 | 0.001 | 0.002 |
Время измерения: 1000 сек
Опции
- Программное обеспечение Sweeping TXRF позволяет картировать распределение загрязнений по поверхности пластины для выявления "горячих точек", которые могут быть автоматически повторно измерены с более высокой точностью.
- Возможность ZEE-TXRF преодолевает историческое исключение края в 15 мм в оригинальных конструкциях TXRF, позволяя проводить измерения без исключения края.
- Возможность BAC-TXRF позволяет полностью автоматизированные измерения TXRF с передней и задней стороны 300 мм пластин с переворачиванием пластин без контакта.
Особенности TXRF-V310
Спецификации TXRF-V310
| Техника | Тотальная отражательная рентгеновская флуоресценция (TXRF) с разложением в паровой фазе (VPD) | |
|---|---|---|
| Преимущество | Измерение ультраследового элементного загрязнения поверхности; пределы обнаружения 1E7 атомов/см? | |
| Технология | Автоматическая подготовка VPD, трехлучевая экситация и автоматическая настройка оптики | |
| Атрибуты | Высокомощный рентгеновский источник с W-анодом (вращающийся анод 9 кВт) Три энергии возбуждения, оптимизированные для легких, переходных и тяжелых элементов XY? стадия образцов Двойные порты загрузки FOUP |
|
| Особенности | Полное картирование пластин (SWEEPING-TXRF) Нулевое исключение края (ZEE-TXRF) Интегрированная, автоматизированная предварительная обработка VPD для кремниевых пластин (VPD-TXRF) для наивысшей чувствительности |
|
| Опции | Анализ задней стороны (BAC-TXRF) Программное обеспечение GEM300, поддержка E84/OHT Обработка в паровой фазе (VPT-TXRF) для повышения чувствительности при сохранении пространственной информации VPD для гидрофильных поверхностей пластин (например, SiC) Порты загрузки 200 мм |
|
| Размеры | 1200 (Ш) x 2050(В) x 2990 (Г) мм | |
| Результаты измерений | Количественный результат, спектральная диаграмма, цветная контурная карта, таблица картирования | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
