Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Загрязнение поверхности пластин диаметром до 200 мм
Измерение элементного загрязнения в отдельных точках или с полными картами пластин
Анализ тотальной отражательной рентгеновской флуоресценции (TXRF) может оценивать загрязнение на всех этапах производства, включая очистку, литографию, травление, удаление, пленки и т.д. TXRF 3760 может измерять элементы от Na до U с помощью одноцелевой, трехлучевой рентгеновской системы и системы детекторов без жидкого азота.
Обзор TXRF 3760
TXRF 3760 включает запатентованную систему образцов Rigaku XY?, вакуумную систему роботизированной передачи пластин и новое удобное программное обеспечение Windows. Эти функции способствуют повышению производительности, точности и легкости в эксплуатации.
Опциональное программное обеспечение Sweeping TXRF позволяет картировать распределение загрязнителей по поверхности пластины для выявления "горячих точек", которые могут быть автоматически переизмерены с большей точностью.
Опциональная возможность ZEE-TXRF преодолевает историческое исключение края в 15 мм в оригинальных конструкциях TXRF, позволяя проводить измерения без исключения края.
Высоконадежный анализ загрязнения поверхности пластин
TXRF является незаменимым инструментом для разработки материалов и устройств для производства полупроводников. Замечательная надежность достигается благодаря недавно разработанной рентгеновской оптике, новому механизму стола и новой концепции компактных вращающихся анодов рентгеновских источников. Также новая модель TXRF с низкой стоимостью владения предлагает сниженные начальные и эксплуатационные затраты.
Предел обнаружения типичных элементов (LLD)
| Предел обнаружения LLD (E10 атомов/см?) | Na | Al | Fe | Ni | Cu |
| 25 | 25 | 0.1 | 0.1 | 0.15 |
Особенности TXRF 3760
Технические характеристики TXRF 3760
| Параметры системы | Технические характеристики | |
|---|---|---|
| Техника | Тотальная отражательная рентгеновская флуоресценция (TXRF) | |
| Преимущество | Быстрое, неразрушающее измерение следового элементного загрязнения поверхности (Na – U) | |
| Технология | Трехлучевая система TXRF с электронно охлаждаемым детектором и автоматической заменой оптики | |
| Атрибуты | Высокомощный рентгеновский источник с анодом W (9 кВт вращающийся анод) Три энергии возбуждения, оптимизированные для легких, переходных и тяжелых элементов Стол образцов XY? для избежания дифракции Вакуумная система роботизированной передачи пластин Принимает пластины диаметром до 200 мм |
|
| Особенности | Полное картирование пластин (SWEEPING-TXRF) Нулевое исключение края (ZEE-TXRF) |
|
| Опции | Программное обеспечение SECS/GEM Обработка SMIF |
|
| Размеры | 1000 (Ш) x 1760 (В) x 948 (Г) мм | |
| Результаты измерений | Количественный результат, спектральная диаграмма, цветная контурная карта, таблица картирования | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
