Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Инструмент метрологии XRR, EDXRF и XRD
Для состава и толщины (EDXRF), толщины, плотности и шероховатости (XRR) для непаттернированных и паттернированных пленок для пластин до 200 мм
Rigaku XTRAIA MF-2000 выполняет высокоточные измерения, невозможные с помощью оптических или ультразвуковых методов. Этот сложный инструмент рентгеновской метрологии делает практичным выполнение высокопроизводительных измерений на продуктах и заготовках, начиная от ультратонких однослойных пленок до многослойных стеков.
Обзор XTRAIA MF-2000
Разработан для массового производства
XTRAIA MF-2000 разработан с учетом массового производства пластин 200 мм (и меньшего размера): высокопроизводительное измерение толщины с помощью XRR и XRF, низкоконтаминационная обработка пластин и управление положением на основе распознавания паттернов для измерений продуктовых пластин, маркировка CE и соответствие SEMI S2/S8 для работы в чистых помещениях полупроводникового производства, SECS/GEM, высокая надежность работы машины и низкое энергопотребление и стоимость владения. Доступен с открытыми кассетами и конфигурациями SMIF pod.
Монитор толщины и плотности пленки
XTRAIA MF-2000 оснащен HyPix 3000, двухмерным детектором прямого счета фотонов для измерений XRR и XRD с несколькими режимами (0D, 1D, 2D) работы. Этот детектор имеет ~300,000 пикселей с размером пикселя 100 мкм x 100 мкм. Когда рентгеновский фотон падает, каждый сенсор пикселя становится проводящим и может подсчитывать количество падающих фотонов по одному.
Обнаружение XRR в пять раз быстрее
Высокое разрешение и высокий динамический диапазон (10?) позволяют XRR характеризовать широкий диапазон толщин пленок, от ультратонких пленок (менее нм) до толстых пленок (450 нм)
Используя двухмерный детектор и измерение рентгеновской отражательной способности (XRR), скорость измерения XTRAIA MF-2000 была улучшена в пять раз по сравнению с традиционной моделью.
Микрокристаллические тонкие пленки с низкой кристалличностью
Кроме того, возможности XRR и рентгеновской дифракции (XRD) позволяют измерять очень тонкие и низкокристалличные пленки, на которые растет спрос.
Технология COLORS
Rigaku разработала оптику X-ray COLORS для XTRAIA MF-2000, позволяющую проводить измерения с малых областей. Модули луча COLORS соединяют источники рентгеновских трубок с оптимизированной оптикой для обеспечения монохроматического, высоко яркого освещения в малых точках для различных приложений тонких пленок. Имея собственный бизнес по производству рентгеновской оптики, Rigaku хорошо позиционирована для разработки и производства рентгеновских источников для текущих и будущих потребностей рынка.
Приложения передней линии
- Комбинированное измерение XRR/XRF состава SiGe в затворе плавника
- Измерение толщины ультратонких пленок до 1 нм
- Измерение многослойных диэлектрических пленок
- SiGe, CoSi?, NiSi?, SOl, Al, SiON, Hi-k диэлектрик/металлический затвор
Приложения конечной линии
- Измерение ультратонких пленок лантана
- Медное семя, медный барьер, медное покрытие, Ti/TiN, Ta/TaN, W
Другие приложения
- Измерение XRF вариации толщины в процессе MRAM
- Измерение XRR физических характеристик в стеке MTJ
- MgO, CoFeB, Ru, Pt, PZT
Особенности XTRAIA MF-2000
Спецификации XTRAIA MF-2000
| Техника | Рентгеновская рефлектометрия (XRR), энергодисперсионная рентгеновская флуоресценция (EDXRF), рентгеновская дифракция (XRD) | |
|---|---|---|
| Преимущество | Высокопроизводительное измерение продуктовых пластин от ультратонких пленок до пленок микронного порядка; применимо к широкому диапазону толщин и типов пленок | |
| Технология | Процесс микро-точечного XRR, EDXRF и XRD с 2 открытыми загрузочными портами кассет | |
| Атрибуты | Метрология заготовок и паттернированных пластин Выбор монохроматических, микро-точечных рентгеновских модулей луча (COLORS) |
|
| Особенности | Ультра-быстрый детектор с динамическим диапазоном до 10? Двойные открытые загрузочные порты кассет |
|
| Опции | Программное обеспечение SECS/GEM Загрузочные порты SMIF |
|
| Размеры | 1612?Ш??3395?Г??2118?В?мм | |
| Результаты измерений | EDXRF: Толщина и состав пленки XRR: Толщина, плотность и шероховатость пленки |
|
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
