Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Неразрушающий многозадачный рентгеновский метрологический инструмент для микрообластей. Продвинутые измерения для многослойных пленок, масок EUV и полупроводниковых приложений.
- Объединяет XRR, XRF и XRD в одном инструменте
- Измерение микрообластей от 20 до 85 мкм
- Совместим с узорчатыми и сплошными пленками
- Поддерживает характеристику масок EUV
XTRAIA MF-3000-R — это многофункциональная метрологическая система, объединяющая технологии рефлектометрии (XRR), флуоресценции (XRF) и дифракции (XRD). Она обеспечивает точный анализ толщины, состава, плотности и кристалличности. Конфигурации микрообластей и архитектура с двумя детекторами поддерживают детальную оценку масок EUV и тонких полупроводниковых пленок.
Этот инструмент подходит для разработки передовых процессов и контроля производства, предлагая стандарты безопасности, соответствующие SEMI, и гибкие функции автоматизации.
Обзор XTRAIA MF-3000-R
XTRAIA MF-3000-R — это высокоточный метрологический инструмент, предназначенный для характеристики тонких пленок. Он объединяет передовые технологии рентгеновской рефлектометрии (XRR), рентгеновской флуоресценции (XRF) и рентгеновской дифракции (XRD) для измерения толщины, плотности, шероховатости и кристалличности. Этот инструмент идеален для сложных оценок полупроводников и масок EUV.
Особенности XTRAIA MF-3000-R
Технические характеристики XTRAIA MF-3000-R
| Техника | XRR, EDXRF, XRD | |
|---|---|---|
| Чувствительность | Толщина от субнанометров до микрон | |
| Совместимость образцов | Маски EUV, сплошные/узорчатые подложки | |
| Измеряемые параметры | Толщина пленки, плотность, состав, шероховатость | |
| Разрешение | Высокое пространственное и материальное разрешение | |
| Преимущество | Комплексная оценка пленок в одном инструменте | |
| Автоматизация | Операция на основе рецептов с соблюдением безопасности | |
| Технология | Гониометр тета-тета, детекторы HyPix и SDD | |
| Соответствие | SEMI S2/S8, GEM300, CE, NFPA, директивы ЕС | |
| Пропускная способность | Высокая пропускная способность, автоматическое картирование | |
| Основные характеристики | Высокая точность, нацеливание на микрообласти | |
| Основные функции | Анализ плотности, кристалличности, толщины в реальном времени | |
| Опции | Поддержка GEM300, интерфейс E84/OHT | |
| Результаты измерений | Многопараметрические данные о пленках для QA/QC и разработки | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
