Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Инструмент метрологии XRR, EDXRF и XRD
Для состава и толщины (EDXRF), толщины, плотности и шероховатости (XRR) для непаттернированных и паттернированных пленок для пластин до 300 мм
Для приложений с тонкими пленками получаются точные измерения небольших областей, и достигается высокая яркость в локализованных точках.
Rigaku XTRAIA MF-3000 (ранее MFM310) выполняет высокоточные измерения, невозможные с помощью оптических или ультразвуковых методов. Этот сложный инструмент рентгеновской метрологии делает практичным выполнение измерений с высокой пропускной способностью на продуктах и пластинах без покрытия, начиная от ультратонких однослойных пленок до многослойных стеков.
Обзор XTRAIA MF-3000
Разработан для массового производства
XTRAIA MF-3000 разработан с учетом массового производства 200 мм и 300 мм: измерение толщины с высокой пропускной способностью с помощью XRR и XRF, обработка пластин с низким уровнем загрязнения и управление положением на основе распознавания паттернов для измерений продуктовых пластин, маркировка CE и соответствие S2/S8 для работы в чистых помещениях полупроводникового производства, соответствие стандартам автоматизации фабрик GEM300/HSMS, высокая надежность работы машины и низкое энергопотребление и стоимость владения.
Технология COLORS
Рентгеновская оптика COLORS была разработана компанией Rigaku для XTRAIA MF-3000, чтобы обеспечить измерения с небольших областей. Модули лучей COLORS сочетают различные источники возбуждения XRF с оптикой и оптимизированы для обеспечения высокой яркости в небольших точках для различных приложений с тонкими пленками. Имея собственный бизнес по производству рентгеновской оптики, Rigaku хорошо позиционирована для разработки и производства рентгеновских источников для текущих и будущих потребностей рынка.
Особенности XTRAIA MF-3000
Технические характеристики XTRAIA MF-3000
| Техника | Рентгеновская рефлектометрия (XRR), энергодисперсионная рентгеновская флуоресценция (EDXRF), рентгеновская дифракция (XRD) | |
|---|---|---|
| Преимущество | Измерение с высокой пропускной способностью пластин без покрытия и продуктовых пластин от ультратонких пленок до пленок порядка микрон, применимо к широкому диапазону толщин и типов пленок | |
| Технология | Процесс микро-спотового XRR, EDXRF и XRD | |
| Атрибуты | Метрология пластин без покрытия и с паттерном Выбор монохроматических, микро-спотовых рентгеновских модулей лучей (COLORS) |
|
| Особенности | Ультра-быстрый детектор с динамическим диапазоном до 10? Двойные порты загрузки FOUP |
|
| Опции | Программное обеспечение GEM300, поддержка E84/OHT | |
| Размеры | 1400 (Ш) x 2050 (В) x 3410 (Г) мм | |
| Результаты измерений | EDXRF: Толщина и состав пленки XRR: Толщина, плотность и шероховатость пленки |
|
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
