Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Микро-спот EDXRF и оптическая инспекция (2D-3D)
Встроенная неразрушающая инспекция и метрология для полупроводниковой и микроэлектронной промышленности
Сочетая передовые рентгеновские и оптические технологии, ONYX 3000 предлагает уникальный подход к метрологии пластин во многих областях от FEOL до WLP, что приводит к встроенным решениям для этих процессов. Этот сложный гибридный метрологический инструмент позволяет проводить высокопроизводительные, встроенные измерения на чистых и продуктовых пластинах, начиная от ультратонких однослойных пленок до многослойных стеков.
Обзор ONYX 3000
Оптическая функция с 2D микроскопом и 3D сканером позволяет обнаруживать дефекты, определять их размеры и характеристики структур BEOL через анализ изображений (критических размеров, высоты, шероховатости и т.д. металлических стеков, паяных шариков, столбиков и т.д.), дополненный измерениями элементного состава и толщины с помощью анализа EDXRF.
Гибридная конфигурация | автоматизированный рентгеновский анализ, 3D сканирование и 2D микроскоп для измерения стеков пленок, шариков и состава на чистых и узорчатых пластинах
Инспекция пластин слой за слоем с качественными и количественными результатами
- XRF измеряет элементный состав и толщину пленки
- 2D микроскоп используется для распознавания узоров, расчета CD.
- 3D сканер измерение высоты, сканирование площади, шероховатость поверхности пластины и соосность шариков
Уникальные преимущества ONXY 3000
- Оптимальная конфигурация для инспекции шариков
- Массив из 4 кремниевых дрейфовых детекторов (SDD) с большой активной площадью и разрешением 123 эВ FWHM (@5.9 кэВ)
- Измеряет легкие (низкоэнергетические) элементы (углерод, кислород, магний, алюминий и фосфор) с использованием опциональной гелиевой атмосферы и специальных SDD детекторов
- Монохроматические или полихроматические рентгеновские опции
- Инспектирует микро-особенности через сфокусированный вертикальный рентгеновский луч (до 10 мкм в диаметре для полихроматической оптики и 20 мкм в диаметре для монохроматической оптики)
- Продвинутая платформа движения для субмикронной точности
- Точная 3D геометрическая инспекция особенностей: микро-шариков, столбиков и площадок
- Анализ состава, связанный с структурами FinFET
- Полностью автоматизированные процессы калибровки, обеспечивающие долгосрочную стабильность и согласованность, и коррекция старения трубки
- Соответствует протоколам связи SECS/GEM
Опции рентгеновской оптики
Поликапиллярная рентгеновская оптика |
Монохроматическая рентгеновская оптика COLORS-t |
| Обеспечивает полихроматическую и улучшенную производительность анализа XRF для эффективного идентифицирования широкого спектра элементов |
Позволяет проводить измерения в спектре с низким фоном, обеспечивая эффективный анализ слабых сигналов.
|
Особенности ONYX 3000
Гибридная конфигурация | автоматизированный рентгеновский анализ, 3D сканирование и 2D микроскоп для измерения толщины пленок и состава на чистых и узорчатых пластинах.
2D микроскоп |
Увеличение 2D микроскопа |
3D сканер |
Спецификации ONYX 3000
| Параметры системы | Спецификации | |
|---|---|---|
| Тип метрологии | Микро-спот EDXRF и оптическая инспекция (2D-3D) | |
| Размер пластины | До 300 мм | |
| Тип пластины | Чистые и узорчатые пластины | |
| Разрешение X/Y стола | < 1 мкм (Разрешение стола 0.1 мкм) | |
| Обработка образцов | Робот с магазином | |
| Автоматизация | Полная возможность работы с пластинами с одним или двумя автоматическими загрузчиками | |
| Навигация | Точный стол, дополненный алгоритмом распознавания изображений. Субмикронная быстрая навигация к центру одной особенности. |
|
| Пользовательский интерфейс ПО | Автокалибровка. Простота создания и обслуживания рецептов. Опциональные фундаментальные параметры. | |
| Ориентация микро XRF луча | Вертикальное падение микро-спота µXRF | |
| Энергия рентгеновской трубки | До 50 кВ, 50 Вт | |
| Оптика | Поликапиллярная / COLORS (монохроматическая рентгеновская оптика) |
|
| Размер пятна микро XRF луча | Регулируемые размеры пятен 10-50 мкм | |
| Тип детектора | Кремниевый дрейфовый детектор (SDD) опционально: детектор легких элементов (C,N,O,F.S) | |
| Разрешение детектора | 123 ± 5 эВ с большим твердым углом | |
| DPP | Цифровой процессор импульсов | Высокая эффективность более 1 миллиона фотонов/сек | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
