Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ -
Срок поставки с завода 6-8 недель
- Производитель:
- Rigaku
Встроенный, одновременный WDXRF спектрометр
Измерения толщины пленки и состава на пластинах без рисунка
WaferX 310 от Rigaku представляет собой кульминацию более чем 40-летнего опыта в области рентгенофлуоресцентного анализа тонких пленок на кремниевых пластинах. Разработанный как инструмент для метрологии в линии, он идеально подходит для производственных сред с высоким объемом на 300 мм.
Обзор WaferX 310
Одновременная толщина и состав
WaferX 310 идеально подходит для измерения BPSG, PSG и металлических пленок. Кроме того, тонкопленочные BPSG, многослойные схемные пленки, WSix, электродные пленки, ферродиэлектрические тонкие пленки, FRAM, DRAM следующего поколения и SiOF являются стандартными приложениями для этого инструмента.
Анализ для поддержки субмикронной технологии
Высокоточные анализы для ультралегких элементов, таких как B и P в пленке BPSG, были значительно улучшены благодаря использованию рентгеновской трубки мощностью 4 кВт с сверхтонким бериллиевым окном.
Продвинутый дизайн
Инструмент использует механизм регулировки высоты пластины для компенсации различий в толщине пластины и механизм предотвращения дифракции для устранения дифракционных помех для переходных металлов. Доступен интегрированный FOUP(SMIF), поддерживающий стандарт C-to-C. Также могут быть загружены различные пользовательские кассеты. Доступен вариант FOUP(SMIF) через стену.
Переработка программного обеспечения
- Отображение 3D-графики позволяет оператору четко оценивать статус
- Позиция тревоги отображается графически, и оператору предоставляется точная информация о техническом обслуживании.
- Отображение в виде "пузырьковой диаграммы" позволяет оператору легко оценивать распределение интенсивности на пластине.
- Более гибкая настройка параметров для предотвращения эффектов рентгеновской дифракции.
Особенности WaferX 310
Технические характеристики WaferX 310
| Техника | Одновременная дисперсия длины волны рентгеновской флуоресценции | |
|---|---|---|
| Преимущество | Толщина и состав многослойных стеков для пластин 300 мм и 200 мм | |
| Технология | Процесс WDXRF с запечатанной рентгеновской трубкой Rh мощностью 4 кВт | |
| Атрибуты | Метрология пластин без рисунка Макс. 20 каналов, фиксированный тип (?Be ???U), сканирующий тип (??Ti ???U) Функция AutoCal |
|
| Особенности | Разработан для производительности измерений Измерения под вакуумом обеспечивают чувствительность к легким элементам Двойные загрузочные порты FOUP (SMIF) |
|
| Опции | Через стену Высокочувствительный детектор бора (AD-Boron) Программное обеспечение GEM300, поддержка E84/OHT |
|
| Размеры | 1200 (Ш) x 1950 (В) x 2498 (Г) мм | |
| Результаты измерений | Толщина пленки и состав | |
Получите коммерческое предложение в течение 1 часа
Менеджер подготовит коммерческое предложение и позвонит, если понадобится уточнить детали вашего заказа
С 2010 года мы поставляем оборудование с заводов Европы. Берем на себя все — от подбора оборудования до внедрения на предприятии
Все сотрудники имеют высшее образование, закончили ведущие химические вузы страны, такие как РХТУ им Менделеева.
У большинства компаний срок ожидания составляет 10-12 недель.
Оборудование хранится на сухом отапливаемом складе, где поддерживается ровная температура.
Работаем с PonyExpress и Деловыми линиями. Вы также можете выбрать свою транспортную компанию или забрать товар со склада в Москве.
В случае любых неполадок за свой счет выполним ремонт в сервисном центре или на заводе-изготовителе. Или бесплатно заменим прибор на новый.
Производим пуско-наладку оборудования, валидацию, обучение сотрудников. Если нужно, привлекаем инженеров с заводов- изготовителей.
Отзывы
В числе наших клиентов организации
из разных отраслей
Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.
-
Привезем под заказ
-
Срок поставки с завода 6-8 недель
