Трубчатая печь с вакуумной атмосферой CVD-система 1600°C CVD-LTF16P/ CVD-LTF16T Series Laboao

Узнать цену

Производитель может поднять цены — запросите коммерческое предложение сейчас, и мы зафиксируем за вами текущую цену.

Привезем под заказ
Срок поставки с завода 6-8 недель

Трубчатая печь с вакуумной атмосферой CVD-система 1600°C CVD-LTF16P/ CVD-LTF16T Series Laboao

Гарантия 1 год

Онлайн консультант Анна Головацкая Получить консультацию эксперта

Система CVD с вакуумной/атмосферной трубчатой печью 1600°C (CVD-TF) обеспечивает экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой и используется в полупроводниковой, нанотехнологической, волоконной и других областях. Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбидом кремния, тест проводимости керамического субстрата, контролируемый рост наноструктуры ZnO, атмосферное спекание керамических конденсаторов (MLCC) и другие эксперименты.

ОСОБЕННОСТИ

1. Печь изготовлена из поликристаллического волокна муллита с вакуумной адсорбцией, температурное поле равномерное, а энергосбережение более 50%

2. Самостоятельно разработанная технология отвода воздуха и теплоизоляции обеспечивает срок службы и эффект постоянной температуры каждого компонента в коробке

3. При запуске электрической печи вытяжной вентилятор автоматически запускается одновременно. После теста вытяжной вентилятор продолжает работать до тех пор, пока температура корпуса печи не станет ниже 60 °C, и вытяжной вентилятор автоматически останавливается, что эффективно защищает поверхность корпуса печи.

4. Дверца печи открывается с функцией автоматического отключения питания, защитой от перегрева и защитой от утечки для обеспечения безопасности использования.

5. Цепь использует режим непрерывного нагрева, двухконтурное питание, а раздельная проводка сильного и слабого тока улучшает стабильность системы

6. Модуль нагрева использует сигнал постоянного тока для регулировки выходной мощности, что избегает помех индукционного электричества на управляющий сигнал.

7. Для кнопок управления используются низковольтные металлические кнопки с индикаторами состояния, безопасная и интуитивно понятная работа.

8. Верхняя и нижняя части корпуса печи соединены авиационными разъемами, что безопасно, надежно и удобно для подключения.

9. Узел газовой цепи изготовлен из пищевой нержавеющей стали 316, которая обладает коррозионной стойкостью, стойкостью к атмосферной коррозии и высокой температуре, и не является магнитной.

10. Используйте цифровой прибор отображения потока, сотрудничайте с контроллером массового потока, собирайте данные и контролируйте поток. Он обладает характеристиками хорошей повторяемости, высокой скорости отклика, стабильности и надежности. (Система контроля массового потока газа)

11. Функция переключения автоматического и ручного управления, режим автоматического управления может автоматически открывать/закрывать вакуумный насос через установленное значение, чтобы контейнер мог поддерживаться в определенном диапазоне вакуумного давления. В режиме ручного управления пользователь напрямую управляет вакуумным насосом через кнопку включения/выключения вакуумного насоса, чтобы удовлетворить потребности различных экспериментов. (Система контроля среднего вакуума)

12. Технология медленного запуска электромагнитного клапана позволяет электромагнитному клапану открываться через 10 секунд после включения вакуумного насоса, чтобы давление в системе в трубке печи оставалось точным, а также гарантирует, что выхлопные газы не вернутся в систему трубки печи, чтобы не повлиять на экспериментальный эффект (система контроля среднего вакуума)

13. Сигнализация перегрева, блокировка меню, предотвращение перегрева, задержка восстановления питания.

14. Используя технологию обратного клапана, поток газа контролируется в пределах контролируемого диапазона давления для обеспечения безопасности.

15. Применяется устройство газосмесительного бака, чтобы газ мог быть введен в рабочую камеру после полного смешивания, чтобы гарантировать, что он не будет утекать.

СПЕЦИФИКАЦИИ

Модель	CVD-LTF16P50	CVD-LTF16P60		CVD-LTF16P80	CVD-LTF16P100		CVD-LTF16P60S	CVD-LTF16P80S		CVD-LTF16P100S
	CVD-LTF16T50	CVD-LTF16T60		CVD-LTF16T80	CVD-LTF16T100		CVD-LTF16P60S	CVD-LTF16T80S		CVD-LTF16T100S
Диапазон рабочей температуры	300~1600?
Разрешение температуры	1?
Контроль температуры	± 1?
Скорость нагрева	0~20?/мин
Длина зоны нагрева	260мм					600мм
Длина зоны постоянной температуры	120мм					300мм
Степень вакуума	-0.1MPa
Время нагрева пустой печи	?15мин
Экстерьер	Холоднокатаный стальной лист с химически стойким покрытием на поверхности
Корпус печи	Поликристаллическое волокно муллита
Размер печи	440390330					780390330
Трубка печи	Корундовая трубка
Размер трубки печи	?50*1000	?60*1000		?80*1000	?100*1000		?60*1200	?80*1200		?100*1200
Нагреватель	Стержень из молибдена кремния
Мощность нагрева	4KW		4KW			10KW			10KW
Теплоизоляционный слой	Двухслойный принудительный отвод воздуха
Контроллер	P: Импортированный программный цифровой дисплей контроля температуры; T: 7-дюймовый цветной сенсорный экран программного контроля температуры
Метод управления	Используйте микрокомпьютерное PID управление / S-тип двойной температурной зоны раздельное управление температурой
Как установить	P: Коснитесь пяти кнопок для действия, установка цифрового дисплея; T: Коснитесь пальцем для установки
Метод отображения	P: Двухстрочный светодиодный цифровой дисплей; T: Цветной ЖК-дисплей
Тайминг	0~999.9 часов
Функция выполнения	Операция с фиксированным значением, программная операция
Режим программы	P: Программное выполнение, 4 кривые, всего 40 шагов; T: 50 шагов могут вызывать сохраненную программу
Датчик	Термопара типа S
Вспомогательная функция	P: Функция коррекции; T: Функция коррекции, запись реальной кривой, экспорт данных на U-диск
Оборудование безопасности	Выключатель защиты от утечки сверхтока					Выключатель защиты от сверхтока
Количество воздушных путей	3 канала (количество воздушных каналов можно выбрать в зависимости от конкретных потребностей)
Диапазон потока	0-0500sccm (стандарт мл/мин, по выбору) стандарт азота
Точность	±1%F.S
Время отклика	?4с
Рабочая температура (расходомер)	5-45?
Рабочее давление	Входное давление 0.05-0.3MPa (манометрическое давление)
Системное соединение	Используйте быструю соединительную гофру KF, ручной клапан высокого вакуума и цифровой вакуумный измерительный прибор
Диапазон вакуума системы	10-100Па
Вакуумный насос	Теоретическая предельная степень вакуума двухступенчатого механического насоса составляет 3x10^-1Па, скорость откачки составляет 4л/с, выход воздуха оснащен масляным фильтром, номинальное напряжение составляет 200В, а мощность - 0.55Квт
Конфигурация системы CVD	Вакуумная трубчатая печь на 1600 градусов (по выбору одна температурная зона, двойная температурная зона) Многоканальная система контроля массового потока Вакуумная система

ПРИМЕНЕНИЕ

Наука о материалах и исследования
Промышленность и производство
Контроль качества и тестирование
Лабораторные исследовательские учреждения

542-10020-00

Heidolph Unimax 2010 (EU-Plug) Платформа Шейкер орбитальная 542-10020-00

Найти на сайте Цена

Пуско-наладка

Выполним распаковку, визуальную проверку, сборку и установку, запуск и настройку, проверку функциональности, проведем инструктаж персонала.

Техническое обслуживание

Проведем периодические регламентные работы: визуальный осмотр, очистка засоренных узлов и частей, замена расходных материалов и изношенных деталей, тестирование прибора, проверка показателей и измерение параметров, калибровка и настройка, обновление программного обеспечения.

IQ/OQ/PQ квалификация, валидация

Проведем монтажную (IQ), операционную (OQ) и эксплуатационную (PQ) квалификацию оборудования по протоколам производителя в полном соответствии с стандартами GMP/GLP.

Ремонт

Проведем диагностику в нашем сервисном центре или у Вас на предприятии, выявим причину поломки, устраним неисправность, проведем тестирование, настройку, калибровку отремонтированного оборудования.