Трубчатая печь с открытым типом вакуумной атмосферы CVD-система 1200°C CVD-LTF12P/ CVD-LTF12T Series Laboao

Предоставляет экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой, используемую в полупроводниковой, нанотехнологической, углеродной волокне и других областях. Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбида кремния, тестирование проводимости керамических подложек, контролируемый рост наноструктур ZnO и эксперименты по спеканию в атмосфере MLCC.

Предоставляет экспериментальную среду с вакуумом, контролируемой атмосферой и высокой температурой, используемую в полупроводниковой, нанотехнологической, углеродной волокне и других областях.

Эта система роста CVD подходит для процессов CVD, таких как покрытие карбида кремния, тестирование проводимости керамических подложек, контролируемый рост наноструктур ZnO и эксперименты по спеканию в атмосфере MLCC.

ОСОБЕННОСТИ

1. Печь изготовлена из поликристаллического муллитового волокна вакуумной адсорбции, температурное поле равномерное, а энергосбережение более 50%

2. Саморазработанная технология отвода воздуха и теплоизоляции обеспечивает срок службы и эффект постоянной температуры каждого компонента в коробке

3. При запуске электрической печи вытяжной вентилятор будет автоматически работать одновременно. После теста вытяжной вентилятор продолжит работать до тех пор, пока температура корпуса печи не станет ниже 60 °C, и вытяжной вентилятор автоматически остановится, что эффективно защищает поверхность корпуса печи.

4. Дверь печи открывается с автоматическим отключением питания, функцией защиты от перегрева и функцией защиты от утечек для обеспечения безопасности использования.

5. Цепь использует режим непрерывного нагрева, двухконтурное питание, а раздельная проводка сильного и слабого тока улучшает стабильность системы

6. Модуль нагрева использует сигнал постоянного тока для регулировки выходной мощности, что избегает помех индуцированного электричества на управляющий сигнал.

7. Для кнопок управления используются низковольтные металлические кнопки с индикаторами состояния, безопасная и интуитивно понятная работа.

8. Верхняя и нижняя части корпуса печи соединены авиационными разъемами, что безопасно, надежно и удобно для подключения.

9. Сборка газовой цепи выполнена из пищевой нержавеющей стали 316, которая обладает коррозионной стойкостью, стойкостью к атмосферной коррозии и высокой температуре, и не является магнитной

10. Используйте цифровой прибор отображения потока, сотрудничайте с контроллером массового потока, собирайте данные и контролируйте поток. Он обладает характеристиками хорошей повторяемости, высокой скорости отклика, стабильности и надежности. (Система контроля массового потока газа)

11. Функция переключения автоматического и ручного управления, режим автоматического управления может автоматически открывать/закрывать вакуумный насос через установленное значение, чтобы контейнер можно было удерживать в пределах определенного диапазона вакуумного давления. В режиме ручного управления пользователь напрямую управляет вакуумным насосом через кнопку включения/выключения вакуумного насоса, чтобы удовлетворить потребности различных экспериментов. (Система контроля среднего вакуума)

12. Технология медленного запуска электромагнитного клапана позволяет электромагнитному клапану открываться через 10 секунд после включения вакуумного насоса, чтобы давление в системе в трубке печи оставалось точным, а также гарантирует, что выхлопные газы не вернутся в систему трубки печи, чтобы не повлиять на экспериментальный эффект (система контроля среднего вакуума)

СПЕЦИФИКАЦИИ

ПРИМЕНЕНИЕ

• 
  Наука о материалах и исследования
• 
  Промышленность и производство
• 
  Контроль качества и тестирование
• 
  Лабораторные исследовательские учреждения