Высоковакуумный турбомолекулярный насос TwisTorr 84 FS
Вакуум до 810-10 мбар.
Производительность до 67 л/с.
Компактный и легкий — вес от 2 кг.
Высокий коэффициент сжатия легких газов.
TwisTorr 84 FS —турбомолекулярный насос малой серии (до 70 л/с), выпущенный Agilent Technologies в 2015 году. Оригинальная спиральная геометрия молекулярной ступени Twistorr гарантирует один из самых высоких коэффициентов сжатия газов (включая легкие газы) среди его аналогов.
Он имеет большую стойкость к прорывам атмосферы и высоким газовым нагрузкам, благодаря технологии демпфирующей подвески ротора.
В системе насоса TwisTorr 84 FS применяются сухие подшипники, которые позволяют избежать использования смазок, обеспечивают долгий срок работы до планового обслуживания, а также дают возможность размещать насос в любом положении.
Насосы TwisTorr 84 FS предлагаются как с базовой (on-board) моделью контроллера, так и с полнофункциональным блоком-контроллера с ЖК-дисплеем (Rack- контроллер).
Преимущества насоса TwisTorr 84 FS:
- Высокая производительность в своем классе.
- Улучшенная стабильность к повышенным газовым нагрузкам.
- Увеличенный срок службы подшипников.
- Высокая толерантность к форвакуумной линии.
- Простота интеграции.
- «Плавающий ротор» компенсирует большую часть вибраций и минимизирует резонанс.
- Низкое энергопотребление.
- Низкая рабочая температура.
- Низкий уровень шума.
Технические характеристики
Параметр
|
Ед. изм.
|
Значение
|
Предельный вакуум
|
с рекомендованным
форвакуумным насосом
|
мбар
|
8×10-10
|
Производительность для фланцев KF 40
|
по азоту
|
л/с
|
49
|
по гелию
|
л/с
|
38
|
по водороду
|
л/с
|
36
|
по аргону
|
л/с
|
44
|
Производительность для фланцев CFF 2.75″
|
по азоту
|
л/с
|
56
|
по гелию
|
л/с
|
46
|
по водороду
|
л/с
|
40
|
по аргону
|
л/с
|
57
|
Производительность для фланцев ISO 63
|
по азоту
|
л/с
|
67
|
по гелию
|
л/с
|
63
|
по водороду
|
л/с
|
53
|
по аргону
|
л/с
|
66
|
Производительность для фланцев CFF 4.5″
|
по азоту
|
л/с
|
67
|
по гелию
|
л/с
|
63
|
по водороду
|
л/с
|
53
|
по аргону
|
л/с
|
66
|
Коэффициент сжатия:
|
по азоту
|
>1×1011
|
по гелию
|
2,0×106
|
по водороду
|
5,0×104
|
по аргону
|
>1×1011
|
Толерантность в форвакуумной линии:
|
по азоту
|
мбар
|
>14
|
по гелию
|
мбар
|
>12
|
по водороду
|
мбар
|
>4
|
по аргону
|
мбар
|
>14
|
Максимальная темпратура отжига входного фланца:
|
для фланцев CF
|
°С
|
120
|
для фланцев ISO
|
°С
|
80
|
Вес:
|
с фланцем ISO 63
|
кг
|
2,05
|
с фланцем CFF 4.5"
|
кг
|
3,50
|
с фланцем KF 40
|
кг
|
2,37
|
с фланцем CFF 2.75"
|
кг
|
3,34
|
Скорость вращения ротора
|
об./мин.
|
8100
|
Время выхода на режим
|
мин
|
<2
|
Уровень шума (на расстоянии 1 м)
|
дБА
|
40
|
Варианты охлаждения
|
естественная и принудительная
возд. конвекция, водяное охлаждение
|
Положение при монтаже
|
любое
|
Типы фланцев на входе
|
CFF 2.75, CFF 4.5, ISO 63, KF 40
|
Типы фланцев на выходе (фор. линия)
|
KF 16
|
Рекомендуемые фор. насосы
|
Пласт.-ротор.: DS 102 , DS 42
Спиральный: IDP 3
|
Комплектация
Оборудование | Кат. № |
Насосы |
Насос TwisTorr 84 FS ISO63 |
X3502-64000 |
Насос TwisTorr 84 FS CF4,5″ |
X3502-64001 |
Насос TwisTorr 304 FS CF2,7″ |
X3502-64002 |
Насос TwisTorr 84 FS KF40 |
X3502-64003 |
Контроллеры |
TwisTorr 84FS AG Rack controller RS232/485 |
X3508-64001 |
TwisTorr 84FS AG Rack controller Profibus |
X3508-64002 |
TwisTorr 84FS on-board controller 110/220 В |
X3509-64000 |
TwisTorr 84FS on-board controller 24 В |
X3509-64001 |
TwisTorr 84FS PCB Controller |
X3510-64000 |
Аксессуары
кат. № 9699290
Комплект воздушного охлаждения
кат. № 969-9958
Сетевой кабель, NEMA, 3 м
кат. № 969-9957
Cетевой кабель, евровилка, 3 м
кат. № 969-9883
Кабель для подключения к компьютеру и программное обеспечение T-Plus
кат. № X3502-68001
Сетка защитная на входе фланца ISO63
кат. № X3502-68000
Сетка защитная на входе фланца, CFF4,5″
кат. № 969-9309
Сетка защитная на входе фланца KF40
кат. № 969-9328
Сетка защитная на входе фланца, CFF2,7″
кат. № X3502-68003
Комплект водяного охлаждения, пластик
кат. № 969-9940
Кабель-удлинитель вентилятора базового контроллера (5 м)
кат. № 969-9375
Виброизолятор ISO 63
кат. № 969-9376
Виброизолятор CF 4,5″
кат. № 969-9844
Вентиляционный клапан, н.о. Dy— 0,5 мм (кабель 0,5 м)
кат. № 9699239
Продувочный клапан 10 см3/мин KF 16 — M12
кат. № 9699240
Продувочный клапан 10 см3/мин ¼ Swagelok — M12
кат. № 9699241
Продувочный клапан 20 см3/мин KF 16 — M12
кат. № 9699242
Продувочный клапан 20 см3/мин ¼ Swagelok — M12
кат. № 9699232
Продувочный клапан 10 см3/мин ¼ Swagelok — ¼ Swagelok
кат. № 9699236
Продувочный клапан 20 см3/мин ¼ Swagelok — ¼ Swagelok
кат. № X3502-68006
Комплект для монтажа контроллера сбоку насоса
кат. № X3502-68007
Комплект для монтажа фланца CFF4,5″